Edwards EPX HiVac Serie Betriebsanleitung

Trockenlaufende vakuumpumpen

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Trockenlaufende Vakuumpumpen der Baureihe EPX HiVac

Bezeichnung

EPX180L

EPX180N

EPX180LE

EPX180NE

EPX500L

EPX500N

EPX500LE

EPX500NE

Betriebsanleitung

EPX

Bestellnummer

A419-41-xxx

A419-42-xxx

A419-48-xxx

A419-43-xxx

A419-44-xxx

A419-51-xxx

A419-52-xxx

A419-53-xxx

A419-54-xxx

A419-00-882

Issue H

EPX TWIN

Bestellnummer

A419-61-xxx

A419-62-xxx

A419-68-xx

A419-63-xxx

A419-64-xxx

A419-71-xxx

A419-72-xxx

A419-73-xxx

A419-74-xxx

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Inhaltszusammenfassung für Edwards EPX HiVac Serie

Seite 1 A419-00-882 Issue H Betriebsanleitung Trockenlaufende Vakuumpumpen der Baureihe EPX HiVac Bezeichnung EPX TWIN Bestellnummer Bestellnummer EPX180L A419-41-xxx A419-61-xxx EPX180N A419-42-xxx A419-62-xxx EPX180N A419-48-xxx A419-68-xx EPX180LE A419-43-xxx A419-63-xxx EPX180NE A419-44-xxx A419-64-xxx EPX500L A419-51-xxx A419-71-xxx EPX500N A419-52-xxx A419-72-xxx EPX500LE A419-53-xxx A419-73-xxx EPX500NE A419-54-xxx A419-74-xxx...
Seite 2: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Wir, Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, UK erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte Trockenlaufende EPX-Hochvakuumpumpe EPX Twin...
Seite 3 Allgemeine Bedienung ....................38 Abbruchtaste CANCEL ....................38 Anzeigen von Text und Variablentext ................38 Datendurchlauf ......................39 Zeitüberschreitung ..................... 39 Menüstruktur ......................39 Beispiel ........................40 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4 Lage des Pumpenschwerpunktes im Verhältnis zur Mitte der Einlassflanschoberseite ......24 Schemazeichnung des Gasmoduls ..................25 Schemazeichnung der Not-Aus-Vorrichtung .................33 Logik der EUC- und PDT-Menüs ..................41 Switch On-Menü ......................42 Switch Off-Menü ......................42 Seite ii © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 5 Ausgangssignale vom Pumpensystem ................36 Menüstruktur des EUCs und PDTs ..................39 Wartungsplan ......................58 Fehlersuche ......................59 Alarm- und Warnmeldungen des Endbenutzer-Steuergeräts der EPX ...........60 Zubehör-Sätze ......................65 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7: Einleitung
Umfang und Definitionen Diese Betriebsanleitung enthält Anweisungen zu Installation, Betrieb und Wartung der trockenlaufenden Edwards-Vakuumpumpen der Baureihe EPX HiVac (in dieser Betriebsanleitung im Folgenden mit „EPX-Pumpe“ abgekürzt). Die EPX-Pumpe darf nur so benutzt werden, wie in dieser Betriebsanleitung angegeben. Lesen Sie diese Betriebsanleitung vor Installation, Inbetriebnahme und Wartung der EPX-Pumpe aufmerksam durch.
Seite 8: Beschreibung
Warnung – giftiges Material. Warnung – entzündliches Material. Abbildung 1 - Prozesseignungsübersicht Beschreibung WARNUNG Edwards haftet nicht für Schäden oder Verletzungen, die durch eine unsachgemäße Benutzung der Ausrüstung hervorgerufen werden. WARNUNG Die trockenlaufende EPX-Vakuumpumpe darf nur für die in Abbildung 1 aufgeführten...
Seite 9 Pumpenmechanismus leitet, um eine Verdünnung der Prozessgase für die in Abbildung 1 aufgeführten Anwendungen mit geringer Beanspruchung zu erreichen. (Siehe Abbildung Tabelle 5 Abschnitt 3.6 für weitere Informationen.) © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 10 12 slm abfällt, leuchtet die Warn-LED (Abbildung 4, Position 4) auf der Fronttafel auf (oder am Endbenutzer-Steuergerät, sofern installiert). Die Pumpe läuft in diesem Fall weiter. Seite 4 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 11: Led-Statusanzeigen
2. Hebeösen (zwei Stück) 3. Schutzerdungsbolzen (M8) 4. Kühlwassereinlass 5. Tool-Interface-Modul (TIM) 6. Netzkabel 7. Schwingungsdämpfer (vier Stück) 8. Auspuff 9. Kühlwasserauslass © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 12 A419-00-882 Issue H Abbildung 3 - Installationsangaben EPX Twin 180L - Anordnung des zusätzlichen Abgasanschlusses für EPX Twin Ausführungen Seite 6 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 13 EPX-Pumpe verbinden, um so den Pumpenbetrieb zu steuern (siehe Abschnitt 3.11). Schutzerdungsbolzen Über diesen Anschluss können Sie die EPX-Pumpe erden (siehe Abschnitt 3.10). (Abbildung 2, Position 3) © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 14 A419-00-882 Issue H Abbildung 4 - Warn- und Hinweisschilder an der EPX L (siehe Tabelle 3) Seite 8 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 15 Lassen Sie die Pumpe daher stets mindestens 20 Minuten abkühlen, bevor Sie Kühlwasser zuführen. Wasserauslass Die Kühlwasserrücklaufleitung wird an dieser Stelle an die Pumpe angeschlossen. Produktschild Produktname © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 16 Display und Tastenfeld, die Ihnen die lokale Steuerung der trockenlaufenden EPX-Pumpe ermöglichen. Zur Bedienung dieser Bauteile siehe Abschnitt 1.8 und 4. Seite 10 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 17 Klemmringverschraubung eignet sich für Rohre mit 6,35 mm (1/4 Zoll) Durchmesser. Stellen Sie sicher, dass sich das verwendete Rohr für die vorgesehene Anwendung eignet. Schild – Gasmodulkennzeichnung Rohranschluss – Stickstoffversorgung zum Gasballast © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 18: Warn- Und Hinweisschilder An Der Epx-Pumpe
Wenn die Pumpen der Baureihe EPX E mit einem TIM gesteuert werden, überwacht das EUC nur den Status der Pumpe. Die EPX-Pumpe ist kompatibel mit Fabworks 32. Warn- und Hinweisschilder an der EPX-Pumpe Siehe Tabelle 3 Abbildung Seite 12 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 19: Endbenutzer-Steuergerät
Störung nicht mehr vorhanden ist), erlischt die entsprechende LED bei den meisten Alarmen und Warnungen, nachdem der Zustand bestätigt wurde. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 21: Technische Daten
, 2,1 x 10 atm ft Die Zeitdauer bis zum Erreichen des Endvakuums ist abhängig von der Sauberkeit des Vakuumsystems und dem Leitwert der Vorvakuumleitung. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 22: Elektrische Daten
Die Netz-Trennvorrichtung (AIC bzw. Amperes Interrupting Capacity) muss ein Ausschaltvermögen von mindestens 10.000 A haben. Weitere Einzelheiten hierzu finden Sie in den Standards SEMI S2-0200 (Abschnitt 13) und SEMI S8. Seite 16 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 23: Kühlwasserversorgung
Pumpenrotor Hart anodisiertes Aluminium Innere Wellendichtungen PTFE-beschichtetes Aluminium O-Ringe Viton-Fluorelastomer Pumpenwelle Kohlenstoffstahl Stickstoff führende Bauteile des Gasmoduls Edelstahl, hart-eloxiertes Aluminium und Viton © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 24 Abbildung 8 - Saugvermögen-Einlassdruck-Kurve (mbar – Pa) Einlassdruck 1. EPX500 2. EPX180 Abbildung 9 - Saugvermögen-Einlassdruck-Kurve (Torr) Einlassdruck 1. EPX500 2. EPX180 Seite 18 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 25 1. EPX 180 2. EPX TWIN 180 Abbildung 11 - Leistungskurve (Torr) EPX und EPX Twin Einlassdruck 1. EPX 180 2. EPX TWIN 180 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 26 A419-00-882 Issue H Abbildung 12 - Installationsmaße der EPX L-Pumpe (dargestellt ist die EPX500L) H = 388 (EPX180) H = 397 (EPX500) Seite 20 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 27 A419-00-882 Issue H Abbildung 13 - Installationsmaße der EPX LE-Pumpe (dargestellt ist die EPX500LE) © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 28 A419-00-882 Issue H Abbildung 14 - Installationsmaße der EPX N-Pumpe (dargestellt ist die EPX500N) Seite 22 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 29 A419-00-882 Issue H Abbildung 15 - Installationsmaße der EPX NE-Pumpe (dargestellt ist die EPX500NE) © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 30 -13,91 -205,89 EPX500NE -0,69 -12,24 -206,36 EPX180L 2,50 -3,15 -196,39 EPX180LE 2,47 -1,42 -196,90 EPX180N -0,51 -14,20 -199,47 EPX180NE -0,51 -12,49 -199,93 Seite 24 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 31 7a. Alternativer Gasballast-Anschluss (nicht belegt) 3. Konstantdruckregler 8. Dichtungsspül-Anschluss 4. Rückschlagventil 8a. Alternativer Dichtungsspül-Anschluss (nicht belegt) 5. Magnetventil 9. Anschluss 6. Stationäre Durchsatzbegrenzer © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 33: Sicherheitshinweise
Vakuumanwendungen. Die Pumpen der Baureihe EPX N sind ausgelegt für die in Abbildung 1 aufgeführten Anwendungen mit geringer Beanspruchung. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten, wenn Sie die EPX-Pumpe für einen anderen Zweck einsetzen möchten. Die unsachgemäße Verwendung der EPX-Pumpe kann zum Verfall der Garantie führen.
Seite 34: Aufstellen Und Befestigen Der Epx-Pumpe
Indikator darauf hinweist, dass die EPX-Pumpe während des Transports gekippt oder falsch behandelt wurde. Wenden Sie sich zur Beratung an Ihren örtlichen Edwards-Vertreter. 3. Falls die Pumpe nicht sofort verwendet werden soll, bringen Sie das Verpackungsmaterial wieder an. Lagern Sie...
Seite 35: Verbinden Des Pumpeneinlasses Mit Dem Prozesssystem
Wenden Sie sich für Ratschläge zu Einlasssperrventilen oder anderen Bauteilen, die für Ihre Anwendung und  Ihr Systemdesign geeignet sind, gegebenenfalls an Edwards oder Ihren Lieferanten. Die Pumpen EPX180 und EPX500 werden mit einem transparenten Kunststoffschutzdeckel auf dem Einlassflansch geliefert. Dieser Deckel verhindert, dass während des Transports Verunreinigungen in die Pumpe gelangen, und schützt den Einlassflansch gegen Kratzer.
Seite 36: Verbinden Des Pumpenauslasses Mit Dem Abgassystem
Ihren Prozessbedingungen erreicht werden. Faltenbälge mit Metallgeflecht sind beispielsweise für diesen Zweck geeignet. Die Abgasleitung muss über ihre gesamte Länge einen Mindestdurchmesser von DN25KF haben.  Seite 30 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 37: Stickstoffspülung (Pumpen Der Baureihe Epx N)
Pa l s , 2,1 x 10 atm ft ). Die für Ihr System erforderliche Leckrate ist abhängig von Ihren Sicherheits- und Prozessanforderungen. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 38: Anschließen Der Kühlwasserversorgung
Kühlwassereinlass (Abbildung 2, Position 4). 5. Öffnen Sie die Kühlwasserversorgung. 6. Untersuchen Sie die Wasserschläuche, Rohrleitungen und Anschlüsse auf Anzeichen von Lecks. Seite 32 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 39: Anschließen An Die Not-Aus-Schaltung
Nennwert hat. WARNUNG Nehmen Sie die EPX-Pumpe nur dann in Betrieb, wenn sie über den Schutzerdungsbolzen (Abbildung 2, Position 3) korrekt geerdet ist. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 40 Abdeckungen kann zur Verletzung von Personen und zu Schäden an der Pumpe führen und hat die Nichtigkeit der Konformitätserklärung und den Verfall der Garantie zur Folge. Qualifiziertes Edwards-Servicepersonal muss nach dem Trennen der Stromversorgung mindestens vier Minuten lang warten, bevor eine Abdeckung abgenommen wird.
Seite 41: Anschließen An Die Steuergeräte
(oder HIT – 1 und 20) Hinweise: 1. Die potentialfreien Kontakte haben einen Nennwert von 24 V und 5 mA. Diese Eingänge dürfen nicht miteinander verbunden werden. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 42 2. Die Werte aller Pumpenstatus-Ausgänge werden bei einem Stromausfall von bis zu einer Dauer von einer Sekunde beibehalten. 3. Alle Statuskontakte öffnen, wenn sie stromlos werden. Seite 36 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 43: Menüs Des Endbenutzer-Steuergeräts (Euc) Und Des Pumpendisplayanschlusses (Pdt)
Sie zum vorherigen Menü zurück. Dieses Symbol verweist auf zusätzlichen Text, der zwar kein Bestandteil des jeweiligen Menüs ist, aber die Funktionsweise des Menüs näher erläutert. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 44: Allgemeine Bedienung
Diese Marke steht für einen Parameter oder eine Menüoption, die bereits vorher ausgewählt wurde. <Message (Meldung)> Diese Marke steht für eine Warnung, einen Alarm oder einen empfehlenden Hinweis. Seite 38 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 45: Zeitüberschreitung
Normal-Menü Status-Menü Control-Menü Setup-Menü Softwareversion Select Units-Menü Select Line-Menü Service-Menü Nur für Servicepersonal Serial Number Nur für Servicepersonal Time/Date Nur für Servicepersonal © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 39 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 46 9. Drücken Sie die Auf- oder Abwärtstaste, um den gewünschten Parameter auszuwählen und anzuzeigen. Drücken Sie anschließend die ENTER-Taste. In der oberen Zeile der Normalanzeige wird jetzt der ausgewählte Parameter angezeigt. Seite 40 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 48 Pumpe ausgeschaltet werden kann. Durch Drücken von ENTER oder CANCEL erscheint auf dem Display die gleiche Anzeige wie vor der Betätigung der Taste Seite 42 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 49 Menü ist nur für Servicepersonal zugänglich]. Sie können die in der Normalanzeige dargestellten Parameter im Setup-Menü [25] mit der Option „Normal Display“ ändern. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 43 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 50 Number-Menü festgelegt [dieses Menü ist nur für Servicepersonal zugänglich]. Falls Warn- oder Alarmmeldungen vorhanden sind, werden diese angezeigt. Andernfalls wird dieser Teilschritt übersprungen. Seite 44 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 51 Wenn Sie die ENTER- oder CANCEL-Taste drücken, kehren Sie zu dem Bildschirm zurück, der angezeigt wurde, bevor sie die CONTROL-Taste gedrückt haben. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 45 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 52 Nachdem Sie das Service-Passwort eingegeben haben, wählen Sie die Option Service-Menü. Falls das eingegebene Passwort falsch ist, kehren Sie zur Normalanzeige zurück. Seite 46 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 53 Feld „Normal Display“. Falls dagegen ein anderes Feld des Setup-Menüs angezeigt wird, öffnet sich nach Drücken der CANCEL-Taste automatisch das Feld „Software Version“. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 47 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 54 Abbildung 26 - Softwareversion <Status> zeigt die Nummer der Softwareversion an. Drücken Sie die ENTER- oder CANCEL-Taste, um zum Setup-Menü [25] zurückzukehren. Seite 48 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 55 ENTER-Taste die CANCEL-Taste drücken, kehren Sie zum Bildschirm [UNITS SELECT Speed] zurück, ohne dass die Einheit für die Anzeige der Drehzahl geändert wird. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 49 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 56 Status-Menüs [23] benutzt werden. Drücken Sie die CANCEL-Taste, um das Feld „Select Parameter“ zu verlassen und zum jeweiligen Feld „Select Line“ zurückzukehren. Seite 50 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 57: Betrieb
Abdeckungen kann zur Verletzung von Personen und zu Schäden an der Pumpe führen und hat die Nichtigkeit der Konformitätserklärung und den Verfall der Garantie zur Folge. Qualifiziertes Edwards-Servicepersonal muss nach dem Trennen der Stromversorgung mindestens vier Minuten lang warten, bevor eine Abdeckung abgenommen wird.
Seite 58: Zündfähige Und Giftige Gemische (Pumpen Der Baureihe Epx N)
4, Position 3) leuchtet und der Pumpenbetriebsstatus-Ausgang schließt. Sollte die Betriebs-LED nicht leuchten oder der Pumpenbetriebsstatus-Ausgang geöffnet bleiben, schlagen Sie im Abschnitt 6.6 nach. Seite 52 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 59: Status- Und Störungsanzeigen
Falls die Pumpe ungeplant abgeschaltet wird, darf sie nicht wieder gestartet werden, bevor die Ursache der Abschaltung erkannt und beseitigt wurde. Sollte dies nicht möglich sein, dichten Sie den Ein- und Auslass der Pumpe ab und wenden sich dann an einen Edwards-Vertreter. Die EPX-Pumpe schaltet sich automatisch ab, wenn ein Pumpenschutzsensor (siehe Abschnitt 1.3) anspricht oder der...
Seite 61: Wartung
Personen oder Beschädigung der Ausrüstung führen. Es wird daher dringend empfohlen, alle Wartungs- und Servicearbeiten von qualifiziertem  Edwards-Servicepersonal ausführen zu lassen. Ausgenommen hiervon sind jedoch die folgenden Arbeiten: Anschluss und Inspektion von Rohrleitungen und Verbindungen zur Vorvakuum- und Abgasleitung. ...
Seite 62 Betriebsstörungen aufweist oder einem Brand ausgesetzt war. Edwards- Materialsicherheitsdatenblätter für die in der EPX-Pumpe eingesetzten fluorierten Materialien sind auf Anfrage erhältlich. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. MSDB: Öl für mechanische Pumpen – Fomblin 6/6 (Teilenummer P120-01-015), O-Ringe – Viton (Teilenummer P120-04-015).
Seite 63: Reinigen Der Pumpe
Sie die Außenseite des Pumpengehäuses ggf. mit einem weichen, fusselfreien Tuch sauber, das mit einem geeigneten Markenreinigungsmittel auf der Basis von entmineralisiertem Wasser oder Isopropanol ab. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 57 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 64: Warten Der Epx-Pumpe
Die Arbeiten im Zusammenhang mit einer großen Wartung liegen nicht im Rahmen dieser Betriebsanleitung und müssen von qualifiziertem Edwards-Servicepersonal ausgeführt werden. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards, um eine große Wartung zu vereinbaren. Hinweise zum Abbauen und Entfernen der Pumpe für Wartungsarbeiten finden Sie in...
Seite 65 Warn-LED leuchtet. die Warnung nicht aufgehoben wird, wenden Sie sich an das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum. Sonstiges Wenden Sie sich an das nächstgelegene Edwards-Kundendienstzentrum. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 59 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 66 Lassen Sie die Pumpe völlig abkühlen. Starten Sie die Pumpe dann neu. Falls das Problem bestehen bleibt, wenden Sie sich an einen Edwards-Vertreter. Seite 60 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 67 Frequenzregler ist ausgefallen. wenn Sie die Pumpe stoppen wollen. In diesem Fall schalten Sie die Stromversorgung aus (beispielsweise indem Sie die EMS-Schaltung betätigen). © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 61 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 69: Lagerung Und Entsorgung
5. Lagern Sie die Pumpe an einem sauberen und trockenen Ort, bis sie wieder eingesetzt wird. 6. Wenn die Pumpe wieder angeschlossen werden soll, müssen Sie die in Abschnitt 3 dieser Betriebsanleitung beschriebenen Vorbereitungs- und Installationsarbeiten ausführen. © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 63 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 70: Entsorgung
Entsorgung Entsorgen Sie die EPX-Pumpe nicht selbst. Senden Sie die Pumpe stattdessen in einer geeigneten Verpackung an Edwards (UK) zurück. Beachten Sie dabei die Formulare zur Rücksendung von Edwards-Geräten am Ende dieser Betriebsanleitung. Die Verpackung der EPX-Pumpe besteht überwiegend aus recycelten und/oder recycelbaren Materialien. Wenden Sie sich für weitere Informationen an Edwards.
Seite 71: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Werksspezifikationen. Geräte, die gewartet, repariert oder montiert wurden, werden mit voller Garantie zurückgeschickt. Ihr örtliches Servicezentrum kann auch Edwards-Techniker für die Wartung oder Reparatur Ihrer Anlage vor Ort zur Verfügung stellen. Weitere Einzelheiten über die Serviceoptionen erfahren Sie bei Ihrem örtlichen Servicezentrum oder einer anderen Edwards-Niederlassung.
Seite 73 Zeitüberschreitung ........39 Leistung ........... 15 Zündfähige und giftige Gemische ..... 52 Zündfähige und giftige Gemische (Pumpen der Baureihe EPX N) ......52 © Edwards Limited 2012. Alle Rechte vorbehalten. Seite 67 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.

Edwards EPX HiVac Serie Betriebsanleitung

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Verwandte Anleitungen für Edwards EPX HiVac Serie

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