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2.3
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur
Belüftungsregelung
Die Pumpe kann zwar in die Atmosphäre entlüftet werden, eine hohe relative Luftfeuchtigkeit kann jedoch die
nachfolgende Abpumpzeit deutlich erhöhen. Belüften Sie die Pumpe mit trockenen, sauberen Gasen, um die
Abpumpzeiten zu verkürzen. Siehe
Tabelle 3 - Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungssteuerung
Belüftungselemente
Belüftungsgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Zeit, bis die Drehzahl auf 50 % reduziert ist
Maximaler Spülgasdruck
*
Wenden Sie sich bei Druckwerten oberhalb dieser Grenze an Edwards.
2.4
Spülgas-Spezifikation und -Daten
Wenn die Spülung mit einem Inertgas erfolgt, können mit den Pumpen auch Sauerstoffkonzentrationen über 20 %
(auf das Volumen bezogen) gepumpt werden
Merkmale des Spülgassystems
Spülgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Zulässiger Spülgasdurchsatz (sofern erforderlich)
Empfohlener Spülgasdurchsatz
Maximal zulässiger Spülgasversorgungsdruck
*
Wenden Sie sich bei Druckwerten oberhalb dieser Grenze an Edwards.
2.5
Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien
Die folgenden Materialien und Komponententypen sind den gepumpten Gasen ausgesetzt: Aluminiumlegierungen,
Stahl, Edelstahl, O-Ringe aus Fluorelastomer und Neopren, Schmierstoffe auf Kohlenwasserstoffbasis, Filz, Magnete
aus seltenen Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz und GFK.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle
3.
*
.
Tabelle 4 - Spülgas-Spezifikation
Referenzwerte
Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder andere Inertgase
-22 °C
1 µm
0,1 ppm
>15 Sekunden
0,5 bar Überdruck
Referenzwerte
Trockener Stickstoff, Argon oder andere Inertgase
-22 °C
1 Mikron
0,1 ppm
20 - 150 sccm (0,33 - 2,5 mbar l s
25 sccm minimum (0,42 mbar l s
*
0,5 bar Überdruck
(7 psig, 5 x 10
B760-10-882 Issue B
-1
-1
, 33 - 250 Pa l s
)
-1
-1
, 42 Pa l s
)
4
Pa Überdruck)
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Fehlerbehebung
