Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung; Daten Zu Belüftungsgasen Und Zur Belüftungsregelung - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

B756-01-882 Issue K
Beachten Sie beim Pumpen gefährlicher Gase oder Dämpfe die vom Lieferanten des Gases/Dampfes
angegebenen Sicherheitsempfehlungen.
Verwenden Sie die EXT70/70/200H nicht zum Pumpen von Gasen, die mehr als 20 % Sauerstoff enthalten. Wenn
dies nicht beachtet wird, polymerisiert der Schmierstoff der Pumpe, und es kann zu vorzeitigen Ausfällen der
Pumpe kommen.
Hinweis: Gaskonzentrationen können durch den Verdichtungsdruck der Pumpe verändert werden.
Die Pumpen sind zum Pumpen der folgenden Restgase ausgelegt, die normalerweise in Hochvakuumsystemen
eingesetzt werden:
Luft

Kohlenmonoxid

Neon

Ethan

Methan

Die Pumpe kann unter den folgenden Bedingungen zum Pumpen von Sauerstoff und Wasserdampf verwendet werden;
Sauerstoff – die Sauerstoffkonzentration muss geringer als 20 % (auf das Volumen bezogen) sein.

Wasserdampf – stellen Sie sicher, dass der Dampf nicht im Inneren der Pumpe kondensiert.

Siehe Abschnitt 3.6.3.
Wenn Sie ein nicht in der obigen Liste enthaltenes Gas pumpen müssen, lassen Sie sich von Ihrem Lieferanten
beraten. Andernfalls verfällt möglicherweise die Gewährleistung für die Pumpe. Die Pumpen sind nicht zum Pumpen
von aggressiven oder korrosiven Gasen geeignet.
2.3 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur
Belüftungsregelung
Die Pumpe kann zwar in die Atmosphäre entlüftet werden, eine hohe relative Luftfeuchtigkeit kann jedoch die
nachfolgende Abpumpzeit deutlich erhöhen. Belüften Sie die Pumpe mit trockenen, sauberen Gasen, um die
Abpumpzeiten zu verkürzen.
Tabelle 2 - Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungsregelung
Belüftungsgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Zeit, bis Rotationsgeschwindigkeit von 50 % erreicht ist
Maximaler Belüftungsgasdruck
* Wenden Sie sich bei Druckwerten oberhalb dieser Grenze an Edwards.
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WARNUNG
VORSICHT
Stickstoff

Krypton

Argon

Propan

Kohlendioxid

Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder andere
Inertgase
-22 °C
µ
1 m
0,1 ppm
> 15 s
< 0,5 bar Überdruck (7 psig, 0,5 x 10
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Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Helium

Wasserstoff

Butan

5
Pa Überdruck)*