Parameter
Vibrationsintensität†
* Gemessen bei Endvakuum, 1 m vom Ende der Pumpe nach ISO 11201, Hochvakuum-
Betrieb S , 50-Hz-Betrieb.
† Gemessen am Einlassanschluss nach ISO 2372 (1974).
3.2.5 Daten zur Schmierung
Hinweis:
Materialsicherheitsdatenblätter von Edwards für die Öle der Drehschieberpumpe sind
auf Anfrage erhältlich.
Tabelle 10 Daten zur Schmierung
Parameter
Empfohlenes Öl*
Vorbereitete Pumpen mit Ölen auf
Kohlenwasserstoffbasis
Für PFPE ausgelegte Pumpen
Ölfüllung
Maximum
Minimum
* Zum Betrieb der Pumpe außerhalb des in
angegebenen Temperaturbereichs bzw. zur Optimierung der Pumpenleistung beim Pumpen
kondensierbarer Dämpfe wird möglicherweise ein anderes Öl benötigt.
A65201882_AA
A65201882_AA - Technische Daten
Einphasige Pumpen
Dreiphasige Pumpen
Referenzwerte
RV3
RV5
Krytox 1506 oder Fomblin 06/6
0,70 Liter
0,70 Liter
0,42 Liter
0,42 Liter
Betriebs- und Lagerungsbedingungen
Seite 20
Referenzwerte
Klasse 1C
Klasse 1C
RV8
Ultragrade 19
0,75 Liter
0,45 Liter
auf seite 13
05/2021 - ©Edwards Limited
RV12
1,00 Liter
0,65 Liter