Abgasleitungen; Abbildung 15 Abmessungen Des Hochvakuumflansches Ohne Flammensperren (In Mm); Abbildung 16 Abmessungen Des Hochvakuumflansches Mit Flammensperren (In Mm) - Edwards EDS 200 Betriebsanleitung

Verwenden Sie vier geeignete Schrauben, um das Prozesssystem mit dem
Hochvakuumflansch der Pumpe oder der Flammensperre, wie jeweils anwendbar, zu
verbinden. Dichten Sie den Anschluss mit einer geeigneten PTFE-Dichtung ab.

Abbildung 15 Abmessungen des Hochvakuumflansches ohne Flammensperren (in mm)

A. 8 x 18,5 Durchm. A. 8 x 18,5 Durchm.

Abbildung 16 Abmessungen des Hochvakuumflansches mit Flammensperren (in mm)

1. 8 x 18,5 Durchm. 1. 8 x 18,5 Durchm.

7.4.2 Abgasleitungen

Das Abgasleitungssystem muss so ausgelegt sein, dass der Leitungsdruck im Betrieb
unter 1,2 bar absolut bei T3 und unter 1,1 bar absolut bei T4 liegt.
Flexible Faltenbälge, die resistent gegen Druck und eine Höchsttemperatur von
mindestens 200 °C sind, in der Abgasleitung, um die Übertragung von Vibrationen zu
verringern und die Überlastung der Leitungsverbindungen zu verhindern.
Verwenden Sie vier geeignete Schrauben, um den Auslass der trockenlaufenden EDS-
Pumpe mit dem Abgassystem zu verbinden. Dichten Sie den Anschluss mit einer
geeigneten PTFE-Dichtung ab.
A41801882_E
300767969_001_C4
A41801882_E - Montage
B. 4 x G1/2" B. 4 x G1/2"
Seite 41 03/2022 - ©Edwards Limited