Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien; Abmessungen Des Ext 200/200H-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten In Mm); Schlitze Mit Einer Breite Von 8,4 Mm - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

2.5

Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien

Die folgenden Materialien und Komponententypen sind den gepumpten Gasen ausgesetzt: Aluminiumlegierungen,
rostfreie Stähle, O-Ringe aus Fluorelastomer und Neopren, Schmierstoffe auf Kohlenwasserstoffbasis, Filz, Magnete
aus seltenen Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz und GFK.
Abbildung 1 - Abmessungen des EXT 200/200H-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in mm)
1. TAV5-Belüftungsventil
2. 8 Schlitze mit einer Breite
3. Seiteneinlass
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von 8,4 mm
4. Haupteinlass
5. EXDC-Controller
6. Vorvakuumanschluss
B756-01-882 Issue K
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