Inhaltsverzeichnis
Werbung
92
3. INBETRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
Während dieser Zeit kann die IGP die Emissionskammer
auspumpen,
ohne durch
das Vakuum in der Prliparalkammer gestört zu werden
.
In diesem Stadium muß
der Druck pgun langsam
abfallen.
Eine eingebaute Testfunktion arn Ende dieser
Periode überprüft den Druck in der
Emissionskammer.
Wenn er nicht niedrig
ge-
nug ist (unter 2x
10-
7 mbar), wird das Umgehungsventil erneut 5 Minuten lang
ge-
öffnet und danach wieder 5 Minuten lang
geschlossen.
Maximal 3 solcher Zyklen
können erforderlich sein, um einen ordnungsgemäßen Vakuumdruck zu
erreichen.
Wenn das Vakuum am
Ende
noch nicht gut genug ist, wird eine
entsprechende
Meldung
angezeigt. Man muß dann einen Philips-Kundendiensucchniker
anfor-
dern,
da
möglicherweise
ein Leck im System vorhanden ist.
5.
Ab diesem Punkt startet automatisch
das
Ausheizverfahren.
Man
muß nun ent-
scheiden, ob
das
Ausheizverfahren ta tsächlich erforderlich ist.
Die Meldung
auf
dem Schirm
lautet:
"Vakuum
e
ventuell gut
genug, 'OK'
eingeben, um Ausheizen
we gzulas-
sen."
"The
vacuum-pressure might be good enough,
press 'OK'
LO
skip
bakeout.
"
Wenn
das
System nach einer langen Zeit auf normalem Luftdruck wieder in
Be-
trieb genommen
wird,
ist
es
sehr zu
empfehlen, das
vollständige Ausheizverfahren
ausführen zu
lassen.
Man braucht dazu
nichtS
zu tun: Die Meldung verschwindet
automatisch nach 5 Minuten und
das
System startet automatisch einen
vollständi-
gen
Ausheizz
yklus (der
mehrere
Stunden dauen
).
Wenn
das
System nur
kurzzeitig
belüftet war, kann man das Ausheizverfahren
überspringen
. Das
Vai<cum muß besser
als
5x10- 6 mbar sein,
anderenfalls
ist das
Ausheizen absolut notwendig. Wenn man OK
anklickt,
muß man wanen
, bis
der
Druck für LaB6-Betrieb
niedrig genug
ist (unter 2x
10-
7
mbar).
Wenn der Druck in
Ordnung ist, wird dies durch die
Meldung
Yak OK (Vac OK) unter dem
Tas ten-
feld Pumpen (Pump) angezeigt. Wenn man dann
entscheide~
das
Aus
heizen
wegzulassen,
filhn
die Startroutine
mit Schritt 7 fort, anderenfalls folgt Schrill 6.
6.
Beginn des
Ausheizverfahrens.
Wie
lange es
noch etwa dauert, wird im Dialogfeld
angezeigt. Der Zyklus besteht
aus
einer Ausheizzeit von 3 Stunden und einer
~benso
lan
3
e dauernden
Abkilhlperiode.
Während dieser Zeit darf der Druck
nie
uber 5x
10-
mbar ansteigen (an diesem Punkt Wird die IGP durch Ihre
Hardware-
steuerung
abgeschaltet).
Achtung:
Während des Ausheizens wird am oberen Ende der Säule ei-
ne Temperatur von
bis
zu 90·C
erreicht.
Man darf sie also
nicht berühren.
Es ist nicht
erforderlich,
daß Sie während des
Ausheizens
die ganze Zeit zugegen
sind. Allerdings ist zu empfehlen, einige Minuten zu warten und den
Druckanstieg
Pgun zu beobachten
,
der durch die von den Wänden der Emissionskarnmer
abge-
gebenen
Gase
verursacht
wird.
Am
Ende des Ausheizverfahrens
muß der Druck
unter 2x10- 7 mbar
liegen.
Wenn
dies
nicht der Fall
ist,
erscheint
folgende Mel-
dung:
"Slartup
beende~
aber Kalh-Vakuum noch nicht
OK, drücke OK."
"Startup finished but GunVacuum not OK yet,
press
OK"
Dies
ist ein deutlicher Hin weis, daß auch nach dem vollständigen
Ausheizverfah-
ren das Vakuum noch nicht gut
genug
für den LaB6-Betrieb ist.
Es
ist dann zu
empfehlen,
einen Kund
endiensttcchniker
zur
Überprüfung des Systems anzufor-
dern oder
das vollständige
Startverfahren zu wiederholen.
Normalerweise
ist der
Druck jedoch gut
genug
(unter
2xlO- 7 mbar)
und
das Sys
tem ist
betriebsbereit.
Bille
überprü fen
Sie
den Vakuumdruck im Bereich der Pgun
.
Der
ordnungs-
gemäße Abschluß des Slartverfahrens wi
rd durch
die folgende Meldung
m
einem
Phi I
ips
XL-Rasterelektronenm
ikroskop
Werbung
Inhaltsverzeichnis
