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3.5
Justierung
der
Elektronenkanone
und
Säule
bei
LaB6-Systemen
x-
und V-Korrektur
In
all
den
Justierungen 61 bis
64
müssen bestimmte Korrekturen vorgenommen
werden.
Dies wird vereinfacht durch
ein
X
und ein
Y
in
einem zweidimensionalen
Regl erfeld
wie
z.B. das
der Slrahlkippung
im Bedienungsfeld
Strahl (Beam)
oder des
StigmalOrs
im
Be-
dienungsfeld Fokus (Focus)
wiedergegeben.
Wenn
das
Feld angeklickt und
die
linke
MaustaSte
gedrückt
gehalten wird,
erscheint
ein
grünes
Fadenkreuz auf dem Schirm mit
ei-
ner
kleinen
Hand
in
der
Mitte.
Wenn
man
nun die
Maus
verschiebt,
bewegt sich
das
Fa-
denkreuz
zusammen
mit
der
Hand
und die entsprechende Einstellung
veränden sich.
ACHTUNG!
:
Während
der Justierung darf die
Strahlverseh
.
(Beam Shift)
nicht ver-
stellt
werden.
Sie wird
in jeder der Prozeduren
61 -
64 auf
null
gestellt
und
eine zusätzliche
Korrektur kann den Nullzustand verändern
. Alle
Präparatbewegungen
müssen
mit dem
Präparattisc
h
(mechanisch
oder mit
Motorantrieb)
ausgefühn
werden.
Es
folgt nun
eine vollständige Beschreibung
des Justierverfahrens:
Montieren Sie
ein stabiles
Präparat mit regelr'läßiger
Struktur im
Mikroskop.
Wenn
das
Vakuum OK
ist,
bringen
Sie
das
System
auf
20
kV und
Strahlgröße 5.
61 Strahlverseh. (Gun shift)
•
Klicken
Sie
das
Bedienungsfeldmenü
und
dann
Justierung
(Adjustments)
an.
Öffnen Sie
das
Listenfeld durch Anklicken der
rech-
ten
Ecke.
Klicken Sie
61 Strahlverseh. (Gun shift)
an
.
•
Das
Tastenfeld
[+
1
anklicken, dann die Anweisungen
"Bitte wanen"
("Please
wait") und
"B
ild
optimieren"
("Optim
ise
image")
befolgen.
Sie
brauchen nur zu
fok
ussieren
und
Kontrast
und
Helligkeit
einzustellen. Die
automatische Komrast- und HeiligkeilSeinstellung kann benutzt
werden,
Autofokus
ist jedoch nicht
zu empfehlen.
•
Klicken
Sie
nochmals
1+
J
an
und führen Sie
die
Korrektur
in
dem
RegIer-
feld
aus.
•
Wenn
alles
in
Ordnung
ist, wieder
das
Tastenfeld
[+
J
anklicken.
Haben
Sie
nachträglich ZweIfel
über die zuletzt ausgeführte Korrektur
, so
kön-
nen
Sie durch Anklicken
des Tastenfeldes
[-]
zum vorhergehenden Schrill
zurückkehren
und
einen wei teren
Versuch machen
.
•
Weiter in der Prozedur
61
Strahlverseh.
(Gun
shift),
bi
s
die
Tasten-
felder
Abbr. (Cancel) und Speichern (Save)
erscheinen.
•
Klicken
Sie
Speichern (Save)
an, wenn Sie der Meinung
sind, daß
die
Justierung
in Ordnung ist.
Klicken
Sie
Abbr. (Cancel)
an, fall
s Sie
Zweifel
haben.
Auf
diese Weise
kehren Sie
zu
den zu Beginn
gültigen
Wenen
zurück. Der
Abschniu 61 Strahlversch. (Gun shift)
wird auch
wieder
angezeigt, so
daß Sie
Gelegenheit zu einem
neuen Versuch
haben.
•
Die
Meldung
"Daten
gespeichen" ("Please
wait,
Saving
data")
erscheint,
wen
n
das Tastenfeld
Speichern (Save)
betätigt
wurde.
Wenn
die neuen
Wene
abgespeic
hen sind
,
forden
das
System dazu
auf.
mit den
anderen
Justierungen
(62
-
64)
fortzufahren.
62 Endlinse (Finallens)
•
Software-Version
4.x
Die
rechte
Ecke
des
Listenfeldes
anklicken.
Alle Justierungen werden
un-
tereinander
angezeigt.
Das nächste
Justierverfahren, in diesem Fall
62
Endlinse (Final lens)
anklicken.
Danach
wieder
das
Tastenfeld
[+ J
anklicken,
um
mit der Justierung zu beginnen.
Der
Ablauf der
Ereignisse
beginnt
ern
eut,
wobei
der
einzige Unterschied
in
der
Bewegung besteht,
die
berei ts
im
Abschnitt
über Justierungen
beschrieben wurde.
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