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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 165

Rasterelektronenmikroskope
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5. PRÄPARATIISCHE
Montage
eines
Wafers
im
Haller:
Den Hebel auf der Unterseile des
Hallers
nach links
drehen,
den Wafer auf den Haller
legen
(Es iSl
ein
besonderer Ausschniu im Haller vorge-
sehen, damil Wafer-Zangen benutzl werden können),
den Hebel auf der Unterseite des Hallers nach rechts drehen und darauf achlen,
daß der Wafer
gegen
den konischen Rand
des
Halters
gedrüCkl
wird.
Philips XL-Raslerelektronenmikroskop

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