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Kathode Und Wehnelt-Blende Montieren; Die Kathodenposition Einstellen - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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202
7. WARTUNGS ARBEITEN
7.3.2.
Kathode und Wehnelt-Blende montieren
AChtung!
Bei der Monlage einer Kathode ist große Sorgfalt notwendig. Dies
gilt
besonders bei der Einstellung des Abslandes
zwischen
Kathode und
W~hnelt-Blende.
Falls die Spitze der Kathode in Berührung mit der
Wehnelt-Blendc kommt, kann
sie sehr
leicht beschädigt
werden.
Die Kathode
(4a)
in das Gehäuse des Mittelteils
(3a)
des
Wehnelt-Zylinders
setzen.
Dabei darauf achten, daß der Schlitz im Kathodensockel
(4b) auf
den Stift
(3b) fallt.
2
Den Kathodenhaltering (7a) mit Federscheibe
zur
Befestigung der Kathode
aufsc hrau-
ben. Der Ring darf nur mit den Fingern angezogen
werden.
Wenn
er zu
fest
sitzt, kann
der Sockel springen, wenn er während des Betriebs aufgeheizt
wird.
3
Die Wehneit-BIende (la) mittels der Bajonettfassung auf den oberen Teil
(2a)
des
Wehnelt-Zylinders setzen. Dies ist nur bei richtiger Orientierung möglich.
Anmerkung:
Da
es
sich bei dieser Gelegenheit
als
notwendig
erweisen kann, daß
die
Wehnelt-Blende gereinigt
wird,
wird
empfohlen, zumindest eine
Ersatz-
Wehnelt-Blende vorrätig
zu
halten. Damit wird es möglich,
eine saubere
Wehnelt-Blendc
zu
montieren,
ohne
daß man Betriebszeit
verlien.
7.3.3.
Die Kathodenposition einstellen
EM5893
Abb.7.2:
Die Kathodenposition
einstellen
2
3
Mit
einem
Binokularmikroskop mit Beleuchtun
g
die Spitze
der Kathode
in
der
Weh-
nelt-B lende
(lb)
zentrieren. indem
man
vorsichtig die Wehnelt-Blende
(
l
a)
über den
oberen
Teil
(2a)
des
Wehnelt-Zylinders sc hiebt.
Die drei Schrauben
(2b)
vor~ichtig
mit den Fingern
etwas
fesldrehen,
um
die Weh-
ne ll-Blende
bezüglich
des
Wchn
clL-Zyl indcrs
zu
sichern.
Den oberen Teil
des Wehnelt-Zylinders
im Uhrleigersinn (pfeilrichtung)
um
einen
Skalenteil gegenüber
dem unteren
Teil verdrehen,
um
die Spitze der Kathode in Rich-
Philips XL-Raslerelektronenmikroskop

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