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Reinigung Der Kathodenhalterung Und Der Anodenteile - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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7.
WARTUNGSARBEITEN
cl Blendenhalter
Mit um einen Holzstab gewickelter Watte und
einem
milden
Haushalt-Scheucrrniuel
(siehe die Liste empfohlener Reinigungsmittel am Ende dieses Kapitels)
abreiben.
2
In Leitungswasser
spülen.
3
Minuten lang in
einem
Ultraschall-Reinigungsgeräl mit
einem
neutralen
Rei nigungs-
mittel
(z.B.
EXTRAN MA02*,
5%ige
Lösung in Wasser) reinigen
.
4
5 Minuten lang in destilliertem Wasser
abspülen.
5
In einem UltraschalJ -Reinigungsgerät
5
Minuten lang mit
analysenreIßern
Alkohol
reinigen.
6
Mit analysenreinem Alkohol
abspülen.
7
Gründlich unter einer Infrarotlampe (15 Minuten bi
s
I Stunde) bei
einer
Temperatur
zwischen 80°C
und
100°C
trocknen.
7_8_ 2.
Reinigung der Kathodenhalterung und
der Anodentei le
(Mit Ausnahme des
Anodengehäuses,
siehe Abschnill 7.4.2)
Dafür
sorgen,
daß die Teile
so weit wie
möglich
zerlegt
und
Schrauben
und
Federn entfernt
sind.
al Wehnelt-Blende
Nach längerer Zeit ist im Innern der
Blende in
der
Umgebung
der
Wellßelt-Blendenöffnung
ein aufgedampfter Wolfram-Film
(Flocken) zu
beobachten.
1
Die Flocken mit um
das
Ende eines
Holzstabs
gewiCkelter in
Alkohol
getauchter Walle
entfernen.
2
In Leitungswasser
spülen.
3
30
Minuten lang
in einem UltraschalJ-Rcinigungsgerät in einer 6%igen Lösung KOH
(Kaliumhydroxid) oder
NaOH
(Natriumhydroxid) in destilliertem
Wasser reinigzn
.
4
In
Leitungswasser spülen.
5
5
Minuten lang in
einem Ultraschall-Reinigungsgerät
mit
einem
neutralen
Reint-
gungsmillel
(z.B.
EXTRAN MA02*,
5%ige
Lösung in Wasser) , einigen
.
6
5 Minuten lang in destilliertem Wasser
abspülen.
7
In
einem Ultraschall-Reinigungsgerät 5
Minuten lang mit
analysenrelßem
Alkoh
ol
reinigen
.
8
Mit analysenreinem Alkohol
abspülen.
9
Gründlich unter
einer
Infrarotlampe
(15
Minuten
bis
I
Stunde)
bei einer Temperatur
zwischen
80°C
und 100°C trocknen.
10 Sauberkeit und Schärfe der
Blende
mit
einem Lichtmikroskop prüfen.
b) Oberer
und
mittlerer
Tei
l des
We hnelt-Zylinders
Zunächst die Schrauben
aus
dem
oberen
Teil und
den
Federring
auS dem
millieren
Teil
der
Wehnelt-Blende
entfernen.
30
Minuten lang in
einem Ultraschall-Reinigungsgerät
in
einer 6%igen Lösung
KOH
(Kaliumhydroxid) oder NaOH (Natriumhydroxid) in destilliertem
Wasser
reinigen
.
2
In
Leitungswasser
reinigen.
3
5
Minuten lang in
einem Ultraschnll-Reinigungsgerät
mit
einem
neutralen
Relßi-
gungsmitlel
(z.B.
EXTRAN
MA02*, 5%ige
Lösung in
Wasser) rei nigen.
216
Philips
XL-Raslerelektronenmikroskop

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