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3.
INBETRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
weiße Kreuz eingestellt
werden.
Am Ende
jeder
kV-Einstellung
wird
zum
Anklicken
von
1+1
aufgefordert.
•
Nach
Abschluß der Prozedur
64 erscheinen
die letzten Abbr.
(Cancel)-
und Speichern (Save)-Felder. Beim Abspeichern
erscheint
die
Mel-
dung
"Daten gespeichen" ("Please
wait, Saving data") und die ursprüng-
lichen Betriebsbedingungen
werden
wieder
eingestellt
Die Justierungen
sind
nun
abgeschlossen.
Die neue Justierung
wird von
nun
ab automatisch vom
System benutzt, bis
das
Justierver-
fahren
wiederholt wird und die neuen
Ergebnisse abgespeichen
werden. Wenn Sie
das
Ta-
stenfeld
Abbr. (cancei) anklicken,
werden
keine neuen Justierungen abgespeichert. Die
Software benulZl dann
weiter
die
zuletzt
abgespeicherten
Ergebnisse
für diese Justierung.
Sie können
eine endgültige Überprüfung
der neuen Justierullgen vornehmen, indem Sie
die
(Bildschirm-)Vergrößerung 200üx
wählen und die Strahlgröße von 6
zu
1 und die Be-
schleunigungsspannung von 20 kV zu 2 kV ändern.
Wenn
sich
die Position der Objekte
auf
dem Bildschirm nur
sehr
wenig
ändert, ist
die Justierung in Ordnung. Wenn
sie sich
deut-
lich
sichtbar verschieben,
ist
eine weitere
Justierung
erforderlich.
99 Schirm (Screen display)
Diese Justierung
erlaubt eine Einstellung
des Anzeigemonitors, bei der die Bilder in
X-
und
Y
-Richtung linear sind
und die Anzeigevergrößerung stimmt. Zu diesem Zweck wird nach
Anklieken
des Tastenfeldes
1+1
ein weißes GitLCrmuster auf
dem
Bildschirm angezeigt.
Nun können
Sie
mit den Bedienungselememen des Monitors die richtigen Abmessungen
und
die Linearität
des Musters einstellen.
Philips
XL-Rasterelektronenm ikroskop
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