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I. EINLEITUNG
• Die Bedienungsfelder
Die Bedienungselemente eines vollausgeslatteten Rasterelektronenmikroskops
(einschI.
Zu-
satzausslattungen wie
zusätzliche
Detektoren und besonderen
Bildverarbeitungsfunktionen)
sind
in vier Hauptfunktionsbereiche eingeteilt, die den wichtigsten Phasen der Arbeit mit
dem Mikroskop entsprechen und die Einstellung (Settings)
,
Abbildung (Imaging).
Bildmanipulation (Image manipulation
,
Analyse (Analytical) und Übersicht
(Survey) heißen. Ein fünfter Hauptfunktionsbereich mit der Bezeichnung Justierung
(Adjustments) wird für den Feinabgleich der
elektronenoptischen
Parameter der Säule
benutzt und gehört nicht
zum
Routinebetrieb. Der
Name
des jeweils aktiven Bedienungsfel-
des
steht
in der
Menüleiste.
Für jede dieser Hauptfunktionsbereiche wird ein Bedienungsfeld aufgebaut, das die
Kom-
munikation des Benutzers mit dem System
ermöglicht.
Das Bedienungsfeld befindet
sich
auf
der rechten Seite des Bildschirms und kann als Ganzes
ein-
oder ausgeschaltet
werden.
Abb_ L2:
Das Bedienungsfeld Einstellung (Settings) und die ausvergrößerte
Bedienungsgruppe Strahl (Beam)
In jedem Bedienungsfeld
sind
die Hauptfunktionen des Rasterelektronenmikroskops (REM)
in kleinere Einheiten
eingeteilt,
die Bedienungsgruppen
genannt
werden. In Abb. 1.1
sind
die drei Gruppen Vakuum (Vacuum), Strahl (Beam) und Video zusammen mit dem
Bedienungsfeld Einstellung (Settings)
sichtbar.
In jeder Bedienungsgruppe findet man
Bedienungselemente und Funktionen, die anwendungstechnisch miteinander in Beziehung
stehen.
Normalerweise ist im Bedienungsfeld jeweils nur
eine
begrenzte Anzahl
von
häufig
benutz-
ten
Bedienungselementen
für die betreffende Bedienungsgruppe zu
sehen.
So
stehen z.B
.
in
der Gruppe Video
(siehe
Abb. I.l) die beiden
Regler
für Kontrast (Contrast) und Hei-
ligkeit (Brightness) und
zwei
Tastenfelder für
die
Definition
und
Ausführung
der
auto-
matischen
Einstellung von
Kontrast und Helligkeit.
Ph
i
I
ips XL-Rasterelektronenm ikroskop
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