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6.1. Detektoren
6.1.3.
Der Präparatstromdetektor PW6844
In der Kammer ist der Präparatlisch elektrisch von der Kammerwand isoliert Dies bedingt,
daß Kompensalionsströme vom Präparat über eine Leitung zum Erdpotential
abfließen.
Der
Präparatstromdetektor (SCD
=
specimen current detector) ist eine Strommeßvorrichtung
zwischen
dem Präparat und dem Massepotenlial.
Dieser Detektor hat verschiedene Betriebsanen:
•
als Kontaktalarm (Standardeinstellung)
•
als Vorrichtung
zur
Strommessung
•
zur Abbildung des Präparats mit als Signal dem absorbienen PräparaIStrom
•
für EBIC-Abbildung mit oder ohne Vorspannung.
Betriebsweise:
Der Detektor hat keine weiteren Bedienungselemente als Softwareregler
(Abbildungs-
modus)
oder
ein
Dialogfeld für die Anzeige des Präparatstroms
(Messung).
Der tatsächliche
Präparatstrom wird
nur
dann
richtig
gemessen, wenn der Strahl in einem
sogenannten
Fara-
day-Käfig
eingefangen
wird (beispielsweise auf dem Multi-Analysen-Stub-HaIter für
das
XIAO).
Wenn
sich
der Detektor im Meßmodus befindet, wird der Strom in einem Dialogfeld ange-
zeigt, das an beliebiger Stelle auf dem Schirm positionien werden kann. Während der Mes-
sung
kann
ein
anderer Detektor für die Abbildung
benutzt
werden.
Eigenschaften:
Der Meßbereich für den Strom liegt
zwischen
10 pA und 10 pA.
Ein
PräparaLkonlaktalarm
(bei EinSChaltung des entsprechenden Modus) wird
ausgegeben,
wenn der Widerstand
zwi-
schen
dem Präparat und Erdpotential unter 1 MQ
abgefallen ist.
Eingangsimpedanz des SCD:
4,7 kQ im Strombereich von 10 pA
-
10 nA
100 kQ im Strombereich von 10 nA bis 10 pA
Maximale Eingangsspannung
(wiChtig bei
der Arbeit mit
einer
Vorspannung für Halb-
leiter):
±
15 V.
Software-Version 4.x
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