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7. WARTUNGS ARBEITEN
7.1.
DIE SÄULE ÖFFNEN
UND SCHLIESSEN
Die Säule läßt
sich
in Höhe der Emissionskammer
öffnen.
Dadurch erhalten Sie Zugang
zur
Kathodenhaherung, zur Anode und zum Strahlrohr mit den Blenden.
7.1.1.
Öffnen der Säule
Den Kathodenheizstrom und die Hochspannungsversorgung
(HD
im Bedienungsfeld
Einstellung (Settings)
ausschalten. Dazu
Ein
(Beam
ON)
on anklicken (die Farbe
änden
sich
von grün nach weiß). Die Emission wird auf null reduzien.
2
Beim XL20 muß der Kippwinkel des Tisches auf 15 Grad
eingestellt
werden. Nur in
dieser Stellung läßt
sich
die Säule
belüften
.
3
Das Feld
Belüften
(Vent) im Bcdlenungsfeld
Einstellung
(Settings) an-klicken
.
Hierdurch wird das Pumpensystem abgeschaltet und Lurt oder Stickstoff in die Säule
eingelassen.
4
Wenn Säule und PräparaLkammer den normalen Luftdruck erreicht haben, hebt man
den oberen Teil der Säule mit Hilfe des dazu angebrachten Hebels an, bis ein
mecha·
nischer Anschlag erreicht wird. Die Säule in dieser Höhe festhalten und um eine
Vier·
telumdrehung nach links drehen. Wenn man nun den Hebel losläßt, bleibt der obere
Säulenteil in einer Schwebeposition. Die Kathodenhalterung befindet
sich
nun
außerhalb der Emissionskammer und wird durch die Erd fahne
geerdet.
Anmerkung:
Bei Belüftung mit Stickstoff ist
es empfehlenswert,
den Stickstoff weiter-
strömen zu
lassen,
während sich
die Säule auf Normaldruck befindet.
Dies ist dadurch möglich, daß man die Stickstoffspülzeit von den normal
eingestellten
2
Minuten auf
ca.
5
Minuten
verlängen
(Bedienungsfeld
Einstellung
(Settings), Gruppe
Vakuum
(Vacuum)
ausvergrößen)
oder indem man
Belüften
(Vent)
anklickt,
nachdem die Stickstoffzufuhr
automatisch aufgehört hat. Nachdem die notwendigen Einzelteile
zwecks
Wartung demontiert
sind, sollte
die Säule
wieder geschlossen werden,
bis
die betreffenden Bauteile zur Neumontage
bereit SInd.
7.1.2.
Schließen der Säule
Vor dem Schließen nachprüfen,
ob
der
O·Ring zwischen
den
beiden
Teilen von Staub,
Haaren und anderen Unregelmäßigkeiten frei
ist,
die eine
Versc~lechterung
des
Vakuums bewirken könnten
.
2
Den Hebel ergreifen und den
oberen Teil
der
Säule
nach rechts drehen, bis
er sich
über dem unteren Teil befindet. Dann den oberen Teil
vorsichtig so
ablassen, daß
er
auf die O-Ring·Dichtung im unteren
Teil
der
Säule
paßt.
3
Das Feld
Pumpen
(Pump) im Bedienungsfeld
Einstellung (Settings)
anklicken
.
Die Farbe des Feldes
änden sich
von weiß nach
grün. (Bei
LaB
6
-Systemen
in
der aus-
vergrößenen Gruppe
Vakuum
(Vacuum),
siehe
Abschniu 3.2). Die automatische
Vakuum-Steuerfolge bringt das System nun
in
den
Zustand
Vak OK
(Vac
OK)
zurück.
4
Die
HIGH
TENSION-Freigabetaste auf dem Bedienungspult links auf dem Tisch
drücken.
Dadurch wird die Wahl von
Ein
(Beam
ON)
im Bedienungsfeld
Ein-
stellung
(Settings) freigegeben.
198
Philips XL-Rasterelektronenmikroskop
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