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7. WARTUNGSARBEITEN
7.4. DIE ANODE
204
Abb.7.3:
Achtung!
•
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.
P - - - -
6
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O
r--------7
Die Anode
(von oben
nach
unten:
I
,
3a,
4,
5, 6.7)
Sämtliche
oben
beschriebenen Teilc befindeIl
sich
im Vakuum und dürfen
daher nur vorsichtig mit Handschuhen angefaBt
werden.
Bei Nichtbenut-
zung sind sie
in
geeigneten
Behältern unterzubringen
oder
in Aluminium-
folie
zu
verpacken.
Den Zugang
zur
Anode
verschafft
man
sich,
indem man die in den folgenden Abschnillen
beschriebenen Arbeiten ausfühn:
7.1 Öffnen und
Schließen
der Säule
7.4.1
.
Die Anodenkappen für hohe und niedrige Spannungen
austauschen
Mit durch Handschuhe
geschützten
Fingern die benutzte Anodenkappe
(I)
durch Linksdre-
hung abschrauben. Die benötigte Anodenkappe kann nun durch RcchLSdrehung
einge-
schraubt
werden
.
Die beiden Typen
lassen sich
dadurch unterschciden, daß die Anodenkappe für niedrige
Spannungen dicker ist als die für hohe Spannungen
(siehe auch
Abb.
7.3).
Philips XL-Rasterelektronenmikroskop
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