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2. MIKROSKOPFUNKTIONEN
Der Stanprozeß kann jederzeit durch Anklicken von Abbr. (Abort) abgebrochen werden.
wenn Sie den Prozeß
zu einem
späteren
Zeitpunkt ausführen
wollen. Allerdings muß nach
einem Abbruch
ein
vollständiges neues Startverfahren
ausgefühn
werden
.
• Systbel. (Ventsys)
Nach Anklieken von Systbel. (Ventsys)
erscheint
ein Dialogfeld auf dem Bildschirm.
Wenn Sie dort Start wählen, wird das vollständige System
einschließlich
Emissionskam-
mer belüftet.
Je nach Vakuumstatus des Systems kann
eine der
folgenden
Textzeilen auf
dem Bildschirm
erscheinen:
1.
Wenn das Vakuum in der Präparatkammer
schlecht
ist
(zu
hoher Druck), kann
durch Belüftung der Emissionskammer die Elektronenkanone kontaminien
werden
(eine
entsprechende Meldung erscheint auf dem Schirm): Um dies
zu
vermeiden,
können Sie
Pumpen
(Pump)
wählen. um die Präparatkammer
zu evakuieren.
bevor das System
belüftet
wird.
2.
Sie können diese Meldung auch ignorieren und trotzdem Start wählen. um die
Emissionskarnmer direkt
zu
belilften
(dies
ist jedoch nicht
zu
empfehlen. da
da-
durch
sowohl
Leistung
wie
Lebensdauer der Kathode
beeinträchtigt
werden kön-
nen.
Das Verfahren kann bis
zu
einer Stunde dauern, da
erst
langsam die Hochspannung
ausge-
schaltet und dann eine Abkühlzeit für die Kathode
abgewanet
werden muß. die im Interesse
einer langen Kathodenlebensdauer notwendig ist.
Wenn während der Abkühlung Abbr. (Abort)
gewählt wird. wird das
Abkühlen angehal-
ten und
das
Dialogfeld gelöscht. Wenn das System bereits im Belüften begriffen war,
wird
das Belüften
gestoppt
und das Dialogfeld
gelöscht.
Anmerkung:
Nach Ausführung von Systbel. (Ventsys)
(z.B. zum
Auswechseln
einer
Kathode)
besteht
die
einzige
Möglichkeit, den Betrieb fonzusetzen.
in ei-
nem Stanverfahren, das mehr als
6
Stunden dauen.
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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