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Anhang; Spezielle Kathodenhalterung - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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A.1. Spezielle KathodenhalLCrung
A. ANHANG
A.1. SPEZIELLE KATHODENHAL TERUNG
Je nach Typ des Instruments ist
es
möglich, daß
es
mit einer Kathodenhalterung
entspre-
chend der DarslCllung in dcn Abbildungen A.I und A.2 ausgestatlCt ist Wenn dies der
Fall
ist, müssen
Einstellung
und Abgleich
gemäß
der Vorschrift in diesem Anhang
ausgefühn
werden.
Zugang
zur
Kathodenhalterung erhält man nach dem in Abschnitt 7.1
:
Öffnen
und
Schließen der
Säule,
beschriebenen Verfahren
.
Der Einbau und Ausbau der
Kathodenhalte-
rung ist in Abschnitt 7.2 beschrieben.
ACHTUNG
:
Die Kathodenhalterung und die zu ihr gehörenden Teile befinden
sich
im
Vakuum und dürfen dahcr nur
vorsichtig
mit Handschuhen
angefaßt wer-
den. Bei Nichtbenutzung sind
sie
in
geeigneten
BehällCrn unlCrzubringen
oder in Aluminiumfolie zu verpacken.
Der Austausch der Kathode und der
Wehnelt-Blende
werden in diesem Abschniu
beschrie-
ben. GebrauchlC Wehnelt-Blenden können nach
einem
ähnlichen Verfahren,
wie
dem in
Abschniu7.8.1. beschriebenen
(für Streublenden), gereinigt
werden.
~
_ _ - - - 1 0
- - - 9
Abb, A.1.
Spezielle Kathodenhalterung
Software-Version
4.x
221

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