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3.
INBETRIEBNA.
H ME DES INSTRUMENTS
Die aufeinanderfolgendcn
Schriue des
Pumpzyklus sind:
I.
Zum Systemstan die Taste
ON
auf dem Bedienungspult
(Abb. 2.1)
drücken
.
Das
System wird nun eingeschaltet und die Software wird geladen. Dies dauert ein
paar Minuten
.
Die Symbole für die
zum
System
gehörenden
Einzelprogramme
SERVER, STAGE, SCS und MCTRL werden automatisch
geladen.
2.
Die Taste
VACUUM
auf dem Bedienungspult drücken. Damit aktiviert der
Com-
puter das Vakuumsystem
.
Die Taste leuchtet auf und
das
Aufheizen
des
ODP-S
y-
sterns
beginnt.
3.
Da das System noch nicht
vollständig gestartet
ist, kann das Tastenfeld
Pumpen
(Pump)
im Bedienungsfeld
Einstellung (Settings)
noch nicht bedient werden
.
Dieses Tastenfeld wird beim normalen Gebrauch des Instruments und beim
Wech-
sel
von Präparaten bedient. Stattdessen muß nun die Gruppe
Vakuum
(Vacuum)
vergrößert werden (siehe Abb. 3.2).
Abb.3.2:
Die ausvergrößerte Gruppe
Vakuum
(Vacuum).
4.
Das
Feld
Start (Start-up)
anklicken
.
Ein
entsprechendes
Dialogfeld fordert
zur
BestJltigung des
Stanbefehls
auf.
OK
anklicken.
Dadurch
wird
der
vollstJlndige
Pumpzyklus
gestarteL
Die
unter dem
Feld
Pumpen
(Pump)
ausgegebenen
Mel-
dungen
entsprechen
denjenigen
eines
normalen Systems mit
Wolfram-Kathode.
Als erstes
muß die
Öldiffusionspumpe (ODP)
betriebsbereit sein.
Das
Aufheizen
der ODP auf Betriebstemperatur dauert
etwa 25
Minuten.
Man beachte, daß
wäh-
rend dieser
Zeit
das
Umgehungsventil
noch
geschlossen
ist
(siehe
auch
Abb.
3.1).
Wenn die
richtige
ODP-Temperatur
erreicht
ist,
beginnt
die
Rotationspumpe mit
dem Auspumpen der
Kammer.
Dies
wird
durch
die
Meldungen
Pumpt
(Pumping)
und
VorVak
(PreVac)
angezeigt. Ein
paar Sekunden nach
Anzeige
der
Meldung
VorVak
(PreVac)
öffnet das Umgehungsventil
zwecks
Auspumpen
Phi
lips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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