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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 20

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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2.1.
Das Bedienungspult
4
Die Taste
VACUUM
drücken, um die Computersteuerung des Vakuumsystems
freizugeben. Die Vakuumsteuerung iSl freigegeben, wenn die Kontrollampe der
Taste
leuchtet.
Wenn die Taste
leuchtet
und nochmals
gedrückt
wird, hört das Vakuumsystem
so-
fort mit dem Auspumpen der Präparalkammer auf und diese wird belüflet. Der
Belüfwngsprozeß wird durch keine Zeilschallung gestoppL Wenn man die Va-
kuumsteuerung ausschallet, hal dies keinen Einfluß auf das Vakuum im Bereich
der Eleklronenkanone. Die VakuumfreigabetaSle wird beim Start des InstrumenlS
automatisch eingeschallel.
5
Die Taste
HIGH TENSION
drücken, um die Computersteuerung der Hochspan-
nungserzeugung freizugeben. Die Hochspannungssteuerung ist freigegeben, wenn
die Kontrollampe in der Taste leuchtel. Wenn die Taste leuchtet und nochmals
ge-
drückt wird, wird die Hochspannung
sofort
abgeschaltet, der Heizstrom bleibt
je-
doch
eingeSChaltel.
Wenn die Emissionskammer geöffnet wurde, wird die Freiga-
betaste
aUlomatisch ausgeschallel
Hinweis:
Im
Normalbetrieb
müssen beide Freigabetasten
leuchlen.
Soflware-Version 4.x
15

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