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2.
MIKROSKOPFUNKTIONEN
2.5.3. Gruppe: Positionierung (Positioning)
In dieser Gruppe
befinden sich
alle Funktionen, die mit der Bewegung des Präparatlisches
und/oder des Strahls
zu
tun haben und mit denen man die
gewünschte
Position
auf
dem
Präparat findet. Außerdem
gibt es eine
Rasterrotation und
eine
zusätzliche Zoom·Einrich·
tung.
Rasterrotation (Scanrotation)
Mit diesem Regler können Sie die
Rasterrichtung stufen
los drehen. Als Folge davon dreht
sich
auch
das Bild auf
dem Schirm. Diese Mögl;chkeit
kann
benutzt werden, um das Bild
"auszurichten". Selbstverslllndlich
können Schauenbildung und
andere geometrische
Ef-
fekte nur durch
Änderung
der Präparatorientierung
(Tisch-Rotation)
verändert werden
.
•
+90:
Durch Anklicken wird die Rasterrotation um +90
0
weitergeschaltet.
·0:
Rücksetzen
der
Rasterrotation (auf Null)
• -90:
Durch Anklicken wird die
Rasterrotation
um
_90°
weitergeschaltel
• Get:
Diese
Funktion erweist sich bei
der Arbeit mit
einem
motorisierten Präparattisch als
beson-
ders nützlich.
Bei
höheren Vergrößerungen
(Voreinstellung
durch den Benutzel,
siehe
die
unten beschriebene
Funktion
Po
sitionseinstellung (Position Setup), wird
allerdings
der Elektronenstrahl anstelle des Tisches verschoben. Wenn die Funktion aktiviert ist
(auch
über die
Funktionstaste (F12)
möglich), braucht
man
nur
ein
Bilddetail anzuklicken, um
dieses
in
die Schirmmitte
zu
bekommen. Bei
einem
motorisierten Präparattisch
entspricht
der maximale
Bereir.h,
über den das funktioniert, dem Verstell bereich des
Tisches.
Bei
hö-
heren Vergrößerungen ist der Verstellbereich durch die maximale Strahlverschiebung
be-
grenzt (40
pm
in x-
und
y-Richtung).
• Shift-Funktion:
Wenn man
dieses
Markierungsfeld anklickt, erhält
man
eine Online-Bildverschiebung,
die
durch
eine
mit der Vergrößerung
gekoppelte Strahlverschiebung bewirkt
wird. Wenn man
die Shift-Funktion anklickt
(auch
über die
Funktionstaste
[F12) möglich), verändert
sich
der Cursor
in eine
kleine Hand,
sobald er
über der Bildnäche auf dem Schirm
StehL Mit
dieser Hand
kann
man
sehr einfach
den Elektronenstrahl
verschieben,
um
ein bestimmtes
Detail
des
PräparalS an eine bestimmte
Stelle
zu bekommen, z.B.
in Schirmmitte, um
es
dann bei höherer Vergrößerung weiter
zu
untersuchen. Dies
geschieht
einfach
dadurch,
daß
man das betreffende
Detail
anklickt und
bei
feslgehaltener linker Maustaste den
Cursor
über
den Schirm
bewegL
Das Bild des Präpru
ats
folgt der Bewegung. Dies
ist eine sehr
bequeme
Methode zur Bewegung des Bildes für
Feinkorrekturen , z.B. Fokussierung
oder Stigmator-
einstellung
.
Diese Betriebsart ist unabhängig vom
gewählten Rasterrnodus
und
kann
daher
auch
in
SlowScan
benutzt
werden.
Man braucht nur
das gewählte Detail zu ergreifen
und
an die
gewünschte
Stelle
zu bewegen.
Der Bewegungsbereich ist durch den Bereich der
Strahlverschiebung begrenzt.
Bei
niedri·
gen
Vergrößerungen
gibt
der
Pe
einen
Signal ton
ab, wenn
die Grenzen des Strahlverschie-
bungsbereichs
erreicht sind. In
diesem
Fall wird automatisch ein
Rücks. (Reset)
der
Strahlverschiebung
gestanet.
Wenn
man einen
handbedienten Präparattisch hat, muß
man
die Regler für
X
und
y bedienen,
um das
gewünschte Detail
wieder in das Sichtfeld
zu be-
kommen.
• Track (für motorisierte Präparattische)
Die Track-Funktion ermöglicht eine kontinuierliche Präparauischbewegung, mit der man
auf
dem
Präparat
"herumwandern" kann.
Die Bewegungsrichtung ist frei
und
kontinuierlich
wählbar und der GeschwindigkeilSbcreich wird automatisch mit der Vergrößerung ge-
koppelt
und läßt
sich
außerdem
innerhalb
bestimmter Grenzen frei wählen.
Philips XL-Rasterelektronenmikroskop
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