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5.
PRÄPARATIISCHE
Vorkipp-Wafer-Strip-Halter
(siehe Abb. 5.19)
Der Wafer-Strip-Halter wird auf dem Goniometertisch mit
zwei
Schrauben montien. Der
Parallelsuppon wird nicht benutzt.
StUcke
eines aufgespaltenen Wafers können
zwischen
die
Kupferstreifen eingespannt wer-
den.
Die eine Seite des Halters ermöglicht eine Kippung um
90° (I),
die andere ist um
45°
vorgekippt (2).
1
Abb.5.19
Der Wafer-Strip-Halter
5_3_7. Multi-Analysen-Präparathalter (PW6821)
Es wird empfohlen, den Multi-Analysen-Präparathaher auf dem Parallelsuppon zu
montie-
ren.
Er wird mit einer Zentralschraube befestigt. Dabei darauf achten, daß der Zentrierstift
auf dem ParaJlelsuppon
sich
in der richtigen Stellung
befindet.
Auf diesem Halter können montiert werden:
•
metallurgische Präparate von
1,25
Zoll,
•
metallurgische Präparate von I Zoll mit Adapterringen,
•
Standard-Stubs von
12,5
mm mit den
Stub-Adaptern.
Bis zu 5 Präparate können gleichleitig montiert werden
(siehe
Abb. 5.20). Drei Bohrungen
(I) sind vorgesehen. Sie können als Faraday-Käfige
benutzt
werden, wenn man eine Blende
in ihnen montien (eine Endlinsenblende mit 3 mm Außcndurchmesser, deren
Blenden-
durchmesser nicht kritisch ist). Die Präparate werden
von
der Unterseite des Präparathalters
aus montien. Sie werden mit den Klemmschrauben mit Nylon-Spitzen
(2)
fixiert.
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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