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Ausbau Der Kathode; Demontage Der Wehnelt-Blende - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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222
A
.
ANHA NG
A.1.1
.
Ausbau der Kathode
(siehe Ahb. A.
I und
A.2)
I.
Den Wehnelt-Zylinder (9) vom Hauptteil der Kath odenhalterun
g (5) abziehen.
Er wird
durch
eine
Federanordnun
g festgehalten. Etwas
Kraft i
st notwendig,
um den
Feder-
druck zu
überwinden.
2.
Mit Handschuhen an den Fingern den Kathodenbefesugungsrin
g (6)
mit
Federscheibe
abschrauben und di
e
bei den
Teile
vom
Gehäuse
der Kath odenhalterun
g (5)
abnehmen.
Die Kathod
e
liegt nun frei und kann herau sgenommen und ersetzt
werden.
A.1
.2.
Demontage der Wehnelt-Blende
(siehe
Abb.
A
.2)
I.
Der Wehnelt-Zylinder muß vom Hauptteil der
Kathodenhalterung
abgenommen
sein,
wi
e
in Schritt I
,
Abschnitt A .I.I,
beschrieben.
Abb.
A.2:
12
13
.-J
6
~-
8
11
14
7
10
15
cl,
06
Kathod
enhalterung - Einzelteile
und Schlüssel zum M onueren und
De-
montieren der
Blende
2.
Das Ende ( 16) des
mitgeliefen en Schlüssel
s benull.en,
um den
Blendenbe
festi
gungs-
ring (11
)
von der Innenseite
des Wehnelt-Zylinders (9) abzuschrauben.
Er muß dann
zusammen mit der
Blende ( 10)
herausgenommen
werden.
Ph
illps XL-Ra sterciektronenm ikroskop

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