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2.
MIKROSKOPFUNKTIONEN
der
EndWen
ist, der
SlIom
erhöhl/verminden wird. Nachdem man
Start
betätigt hat, ver-
änden sich das Tastenfeld in eine
Stop-Taste.
Damit können Sie die
Erhöhung
oder Ver-
minderung des SlIoms abstoppen, bevor
der
End-Wen
erreicht
ist.
•
End
In dieses Eingabefeld muß der gewünschte HeizslIom (in A) über die Tastatur
eingegeben
werden.
Dieser
SlIom
muß
so
eingestellt werden, daß
ein
Sättigungszustand erreicht wird, der
einer
bestimmten Kathodentemperatur entspricht (typischerweise 1800-1850 K für LaB6-Katho-
den).
ACHTUNG:
Die Temperatur von FEI-LaB6-Kathoden darf 1850 K
nie
überschreiten.
Dies
entspricht
einern HeizslIom von ca. 2 A
(g~nauere
Wene
stehen
in
dem Datenblau, das mit jeder LaB6-Kathode
mitgeliefen
wird). Bei von
Denka hergestellten Kathoden
liegt
der HöchstslIom bei
ca.
4
A.
• Akt: (Act:)
Anzeige des tatsächlichen HeizslIoms.
•
Statusanzeige
Hier wird der Status der HeizslIomregelung angezeigt. Die Meldung kann
sein:
dies bedeutet, daß
sich
der HeizslIom nicht ändert.
•
pgun
Änderung (Changing)
:
den.
dies gibt an, daß sich der HeizslIom noch än-
Anzeige des Drucks in der Emissionskammer (abgeleitet von
SlIom
und Spannung
der lonengeuerpumpe).
•
Strahlkippung (Gun Tilt)
Dies ist ein
zweidimensionaler
Regler mit einem Kreuz, das die eingestellte Position der
Kippung des EleklIonenslIahls angibt Die beiden
zugehörigen
Ablenkspulen dienen zur
ZenlIierung der Beleuchwng durch den EleklIonenstIahl. Im Crossover-Modus wirkt der
Regler
relativ
grob (lOx), im normalen AbbildungsbelIieb dagegen feiner (IOOx). Die
Strahlk.ippung
wird auch
zum
Auffinden des Beleuchtungszentrums zwecks Eingabe in die
ICC Hf-Liste (siehe das Dialogfeld Konfiguration (SetGun)) benutzt Klicken Sie dazu das
Tastenfeld Speichern (Store Hf) an.
•
Speichern (Store HT)
Nach Anklicken von
Speichern (Store HT)
werden die Wene der Hochspannung, der
Vorspannung und der Einstellung
der
SlIahlkippung abgespeichen.
Sie müssen
(bei erst-
maliger Benutzung einer neuen Kathode oder nach einer Wehnelt-Justierung) jedes Mal,
wenn ein neuer Hochspannungswen gewählt wird oder falls Säuigung oder Beleuchtung
korrigiert wurden,
Speichern (Store HT)
anklicken.
Durch
Speichern (Store HT)
werden die Parameter in das
ICC HT-Menü
eingegeben.
Um vorhandene Parameter für dieselbe Hochspannung zu überschreiben, klicken Sie das
Tastenfeld
Speichern (Store HT)
an, dies bewirkt eine Akwalisierung. Wenn alle 16 Po-
sitionen in
ICC HT
besetzt
sind,
erscheint nach Anklicken von
Speichern (Store HT)
die
Warnung, die darauf hinweist, daß erst ein Parameter
gelöscht
werden muß. Dies geschieht
über das ICC HT-Menü
(siehe
Konfiguration
(SetGun).Dialogfeld).
Philips XL-Rasterelektronenmikroskop
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