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3. INBETRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
3.2.5. Ausschalten und vollständige Belüftung des Systems
Bei einer vollständigen Belüftung des Systems wird nicht nur die Präparatkammer, sondern
auch die Emissionskammer belüftet. Dies ist zum Beispiel zur Veränderung der Kathoden-
einstellung, zum Wechsel der Kathode oder bei Unterbrechung aller Versorgungsleitungen
zum Mikroskop
erforderlich.
Bei einer vollständigen Systembelüftung wird ebenfalls
eine
Abkühlzeit für die Kathode
berücksichtigt. Diese feste Zeitspanne beträgt
30
Minuten und
soll
jeglichen Einfluß der
Umgebung auf eine heiße Kathode ausschalten
.
Mit anderen Wonen: eine vollständige
Sy-
stembelüftung erforden ca. 40 Minuten.
Zur vollständigen Belüftung des Systems geht man wie folgt vor:
•
Falls erforderlich, die Präparalkammer
auspumpen, so
daß man den Zustand
Yak
OK (Vac OK)
für das Vakuumsystem
erreicht.
Eine vollständige Systembelüftung
ist nur zulässig, wenn
die
Präparalkammer unter Vakuum
steht
und bedeutet eine
allmähliche Belüftung des gesamten Vakuumsystems.
•
Falls
noch
nicht geschehen, die Kathode durch Anklicken von
HT Ein (HT)
aus-
schalten. Das Feld wird dann
nicht
mehr grün angezeigt. Den Wen Null
(0)
in das
Feld
End
eingeben und
Start
anklicken. Wanen, bis der Kathodenstrom Null
an-
zeigt.
•
•
•
•
•
Den Mauscursor auf das Bedienungsfeld
setzen
und die Gruppe
Vakuum
(Vacuum)
ausvergrößern.
Systbel. (Ventsys)
anklicken, um das Belüftungsverfahren in Gang
zu
setzen.
Da das
Mikro~kop
noch längere
Zeit nach einer Systembelüftung nicht betriebs-
flIhig sein wird, wird eine Bestätigung über
ein
Dialogfeld angeforden.
Nach Bestätigung wird die IGP ausgeschaltet und das Umgebungsventil geöffnet
(dies wird in dem Dialogfeld angezeigt). In diesem Moment
steht
das vollständige
System noch unter
Vakuum und beginnt erst nach einer endgültigen Bestätigung
mit der Belüftung.
Wenn das System vollständig belüftet ist, kann die Emissionskammer
geöffnet
werden und die Kathodenhalterung ist
zugänglich.
Philips XL-Rasterelektronenmikroskop
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