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3. INBETRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
3.5.3.
Justierung
ACHTUNG!:
Lesen Sie unbedingt den gesamten Abschnitt durch, bevor Sie
eine
Kor·
rektur der Justierung versuchen.
Das Bedienungsfeld
Justierung (Adjustments)
wird gebraucht, wenn die Säule aus ir·
gendeinem Grund fehljustien isl. Anzeichen dafür
sind große
Bildverschiebungen bei
Än-
derungen von Fokus, Stigmator, Strahlgröße oder
Hochspannung.
Normalerweise muß aus
folgenden Gründen eine Justierung durchlaufen werden:
•
Nach Wechsel der Endblende - nur
62 Endlinse
(Final
lens)
und
63 Stigmator
korrigieren.
•
Kalhodenwechsel - normalerweise ist keine Korrektur
erforderlich.
•
Anodenwechsel - normalerweise ist keine Korrektur
erforderlich.
•
Reinigung des Strahlrohrs oder andere Arbeiten
an
der Säule
-alle
Prozeduren:
61-64.
Die Bedienungselcmeme der Justierung befinden
sich
im Bedienungsfeld
Justierung
(Adjustments). Es gibt 5 Einzeljustierugen:
61 Strahlversch.
(Gun
shift):
X-
und
Y
-Korrektur
des Verlaufs in Abhängigkeit
von
Strahlgröße und Blende,
so
daß die Beleuchtung auf die mit einem weißen Kreuz markiene Bildschirmmine
fälil. Die Beleuchwngskreise werden auf das weiße Kreuz zentrien. Damit wird
die Beleuchtung entsprechend der mechanischen Säulenjustierung
justien.
62 Endlinse
(Finallens):
Eine ElIdlinsenmodulation
(Wobbler)
wird
eingeschalte~
um das
optische
Rotati-
onszentrum
sichtbar zu
machen. Die Regler
X
und Y werden bedient, um das
Ro-
tationszentrum auf das weiße Kreuz in der Bildschirmmitte
einzustellen.
Dadurch
wird eine Bildverschiebung
beim
Fokussieren
climinien.
63
Stigmator:
X-
und
V-Korrektur des X- und Y-Stigmators. Die während der X- und Y-Proze·
dur
sichtbare
Bildbewegung
so
klein wie möglich machen, um eine Bildver-
schiebung bei normaler Stigmatorbedienung
zu eliminieren.
64 Kondensor
(Condenser):
Eine doppelte Korrektur des EinOusses der Beschleunigungsspannung und der
Sttahlgröße. Ein vorgewähltes Objekt bei verschiedenen Beschleunigungsspan-
nungen und SlIahlgrößen wieder auf das
weiße
Kreuz
zurückve",chieben.
Dadurch
wird
eine zu
große Bildbewegung bei Änderung der Beschleunigungsspannung
oder SlIahlgröße während der normalen Benutzung vermieden.
Die Sttahlgrößen 7 und
8
werden normalerweise nur für WDX (RÖnlgenanalyse
mit Wellenlängendispersion) benutzl. Sie brauchen also nicht korrigien zu wer-
den, falls keine WDX-Einrichtung vorhanden isl. Sie können diese Einstellungen
überspringen, indem Sie mit dem Tastenfeld
[+
J
den nächsten Schrin anwählen
oder
Speichern
(Save) bedienen.
99 Schinn (Screen
display):
Eine Gitterfeldanzeige
erscheint,
mit der die Anzeigelinearität in X und Y auf dem
MonilOrbildschirm korrigicn werden kann. Für diese Korrektur werden die Hori-
zontal-
und
Venikalregler des Monitors benutzt.
Philips
XL·Rasterelektronenmikroskop
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