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3.4 Justierung der
Elcktronenkanonc und Säule bei W-Systcmen
3_4_3_ Justierung
ACHTUNG!
:
Lesen Sie
unbedingt
den
gesamten
Abschniu durch, bevor Sie eine
Kor-
rektur der Justierung versuchen.
Das Bedienungsfeld
Justierung (Adjustments)
wird gebraucht, wenn die Säule aus ir-
gendeinem Grund fehljustiert ist.
Anzei~hen
dafür
sind
große Bildverschiebungen bei Än-
derungen von Fokus,
Stigmator,
Strahlgröße oder
Hochspannung.
Normalerweise muß
aus
folgenden Gründen
eine
Justierung durchlaufen werden
:
•
Nach Wechsel der
Endblende -
nur
62 Endlinse
(Final
Lens)
und
63 Stig-
mator
korrigieren.
•
Kathodenwechsel - normalerweise ist keine Korrektur
erforderlich.
•
Anodenwechsel
-
normalerweise ist keine Korrektur erforderlich.
•
Reinigung
des
Strahlrohrs oder
andere
Arbeiten an der Säule
-alle
Prozeduren
:
61-64.
Die Bedienungselemente der Justierung befinden
sich
im Bedienungsfeld
Justierung
(Adjustments).
Es gibt 5 Einzeljustierugen:
61 Strahlversch. (Gun shift)
:
x-
und V-Korrektur des Verlaufs in Abhängigkeit von Strahlgröße und
Blende,
so
daß die Beleuchtung auf die mit einem weißen Kreuz markierte Bildschirmmitte
fallt. Die Beleuchtungskreise werden auf das weiße Kreuz
zentriert.
Damit wird
die Beleuchtung
entsprechend
der mechanischen Säulenjuslierung justiert.
62 Endlinse
(Finallens):
Eine Endlinsenmodulation
(Wobbler) wird
eingeschaltet, um das
optische Rota-
tionszentrum
sichtbar
zu machen. Die Regler X und Y werden bedient, um das
Rotationszcntrum auf
das
weiße Kreuz in der Bildschirmmitte
einzustellen.
Da-
durch wird
eine
Bildverschiebung beim Fokussieren
eliminiert.
63
Stigmator:
x-
und V-Korrektur
des X-
und Y-Stigmators. Die während der X- und
Y-Proze-
dur sichtbare Bildbewegung
so
klein wie möglich machen, um eine Bildver-
schiebung
bei normaler Stigmatorbedienung
zu eliminieren.
64 Kondensor
(Condenser):
Eine doppelte Korrektur
des
Einflusses der Beschleunigungsspannung und der
Strahlgröße. Ein vorgewähltes Objekt bei verschiedenen
Beschleunigungsspan-
nungen
und
Strahlgrößen wieder auf das weiße Kreuz zurüc1cverschieben. Dadurch
wird eine zu große Bildbewegung bei Änderung der Beschleunigungsspannung
oder Strahlgröße während
der
normalen
Benutzung
vermieden.
Die Strahlgrößen 7
und
8 werden normalerweise
nur
für WDX
(Röntgenanalyse
mit Wellenlängendispersion) benutzt. Sie brauchen also nicht korrigiert
zu wer-
den, falls keine WDX-Einrichtung vorhanden ist. Sie können diese
Einstellungen
überspringen, indem Sie mit dem Tastenfeld
[+1
den nächsten Schrill anwählen
oder
Speichern (Save)
bedienen.
99 Schirm (Screen
display):
Eine Gitterfeldanzeige erscheint, mit der die AnzeigelineariLät in X und Y auf dem
Monitorbildschirm korrigiert werden
kann.
Für diese Korrektur werden die
Hori-
zontal- und Vertikalregler
des Monitors
benutzt.
x-
und
V-Korrektur
In
all
den Justierungen
6
1
bi
,
64
müsscn
bestimmte
Korrekturen
vorgcnommen
werden.
Dies
wird
vere
infacht durch ein X und ein Y in
eincm
zwcidimensionalen
Reglerfeld
wie
Software-Version
4
.x
103
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