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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 4

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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5.1.1. Bewcgungsmöglichkcilcn dcs Präparallischcs
.... ... ...................... ... ....................... .... .... ..... ..
132
5.1.2. Kippbewegung
....... ....
...
.................................... ... ............... ............... ...............................
... 133
5.1.3. Höheneinslellung
des
PräparaLS
... ........
..
....... ................ ... ................
...
...
..............................
136
5.
1.4.
X, Y
-
und
ROLationsrcgl er
(handbedicmcr
Tisch) ....
...............
...
......... ... ............................
... 136
5.1.5.
Der
ROLations·AufsaLZlisch
.................... ......... ...........
......
.............
....
.....
.................
.............
137
5.1.6.
Multi·Analysen-AufsaLZtisch
(ZusatzauSSlallung,
PW675R)
........................
......................... 141
5.1.7. PräparaLhallersaLZ
(Option
PW6820)
....
.....
... ...
....
..... .......................................... .......... .......
143
5.2.
DER PRÄPARATTISCH DES
XL30
............................ ..........
.....
........... ....
............
................ ..
145
5.2.
I
.
Bewegungsmöglichkeilen dcs
Präparaltisches
....................... ........
........
..
...... ........ ...............
145
5.2.2.
Kippbewegung
...................................................................................................................
..
146
5.2.3.
Höheneinslellung
des
PräparaLS .... .........
.................
...
..........................
.........
...
.......
....
..
.......
147
5.2.4
.
X, y. und ROLationsreg\cr
...
..... ...... ....
..
......... .........
.. .......... ........... .....
...
.....
...... ..... .............. 147
5.2.5. Der
ROlations-AufsaLZtisch
........................... .... ........
...
..........
............ ..... .....
........................
147
5.2.6. Mulli-Analysen-AufsaLZisch
(Oplion
PW6830)
............................
...
...
........ ..........................
149
5.2.7.
PräparaLhallcrsaLZ
(O
plion
PW6820)
........
...................
.......... ..........
..
.. ...
.... .......
............
...... 150
5.3.
DER PRÄPARATTISCH DES XL40
..
...
...................................................................................
153
5.3.
1. Bewegungsmöglichkcilen
dcs
Präparalti
schcs ........
..
.......................... .......
...........................
153
5.3
.2.
Kippbewegung
...............
....
......................
.....
..
... ....... ....
..........................
.......
......
......
..
........
155
5.3.3.
Höheneinslellung
dcs
PräparaLS .............................. ........................................
..
..
.....
............
155
5.3.4. X,
Y -
und
ROlationsregler
......
...
.......... ............. ......... ........ ...
.....
..
..............................
.....
...... 156
5.3.5.
Allernative Präparalhaller und der Parallelsuppon
......... ......
...
.....................
....
....... ....
.........
156
5.3.6.
PräparaLhallersaLZ
(Option
PW6819)
......
.................... .....................
............
....
....... .............
157
5.3.7. Mulli-Analysen-PräparaLhalter
(pW6821
) ............... ............ .................................... .....
........ 158
5.3.8.
Wafer-Haller
3,4, 5, 6
und
8 Zoll (Oplion
PW6813-18)
...
...
................................................
159
6. DIE WICHTIGSTEN XL-OPTIONEN
.............
..
...................
...
........................ ...
..
...............
............ ...
161
6.1.
DETEKTOREN .....
.................... ...
........ ..... .... .......................
.... ...
..................................... ........
161
6.1.
I
.
Der
Rückstr~
u
e
leklron cndelckLOr
PW6843
.... .......
................................
............
................ .... 161
6.1
.2.
Der
KaLhodolumineszenz-
Deteklor PW6886
................. ... ................. ...................................
162
6.1.3
.
Der PräparaLSlrOmdelekLOr PW6844
.....................
.....
.... ... ........
.....
...............
........................
165
6.1.4.
Die CCD-Kamera PW6832
............
...
...........
............ ..... ...... .................. ...........
....... ...
....
...... 166
6.1.5.
DerEDX/WDX-Deteklor
..............................
..
............
.............
........
..........
..........................
167
6.2.
ANAL YSEFUNKTIONEN
(Oplionen
PW6878/PW6852)
............. ................. ....... ....................
168
6.2.1
.
Deleklorsleuerung
....
... .....
..... ...
........
..
...
..... ....
..
............ ........ ....
............ .......
.....
..... .......
..
... ...
168
6.2.2. Linescan
(LinienabLaSLUng)
für
EDX
und WDX
.....
............
...............
... ....
........
....
.......
.........
170
6.2.3. Mapping für EDX
und
WDX
(mil
Farboption PW6852)
......... ............
.................................
171
6.2.4. Mapping für EDX und WDX
(SLandard)
... .....
.. ... ....
..
...
.......................... ..........
..
...... ...... .....
172
6.2.5.
DX4-lmegralion
...... ......
..
... ........ ....
....
......
... .......
.....
.............
...............
................................
175
6.3. FARBFUNKTIONEN
(Op tion
PW6852)
...........
.....
....
......
.... ............ ...
..........................
.. ..........
174
6.3.1. Farbkodierung von Bildcrn
....... ...............
.....
......
..........................
.......................................
174
6.3
.2.
ROl-Grün-Stereobilder .... ...
....
....
..............
...
..... ............ ...... ... ...
........
....................................
177
6.3.3. DigiLale Bildmischung
........................ .........
..... .......
.......................................................... ..
178
6.3.4. Farbabdrucke ........
..... .... ..................... ........... ...
.......
.............
....... ... ...
....
................... ...........
179
6.4.
HISTOGRAMM ANALYSE (Oplion PW6864)
...
... .............. ... ....
......
....
...
.......................
... ......
.. 180
6.4.1. Einleilung
............... ......... ..........
...
...... .... ................................
....
.............. ....
..
..... .... ...
....
..
... 180
6.4.2. SLan ...
........ ........ .... ... ...................................... ......
.......
..................
....
.... ..................
........... 181
6.4.3.
Berechnung
....
....
..
.................... .................................
......
..... .............
....
..............................
182
6.4.4.
Eichung
............
... .......... ..... ...... ...... ..........
.. ....
................... ...
........
.......... ....
..... .........
..... ......
183
6.4 .5.
Änderung
dcr
Mikroskopcinslcllung .............................
.............
.........
..
......
..
........... ... .........
184
6.4.6. Inspektion .............
................
..
.. ...... ....... .... ...........
........
.................. .......
...
..... ..... ..... ............
184
6.4.7
.
Farbe (Oplion
PW6852) ... ........................................... ..... ...
..
............ ...................... ............
185
6.4.8. EinsleIlungen
.......... ........................................................ .....
..
........................................ .... ..
186
6.5.
MIKROSKOPYERWAL
TUNGSPROGRAMM
(Oplion
PW6867) ........................... ..... ... ....... ..
187
6.5.1. EinleiLUng
...... ..... ................................ .......
.....
........ .........
..
.. ....... ...
..
....... .......
.....
....
..
.. .... .....
187
6.5.2.
SLanen
des
Syslems
.................................................................... .........................................
187
1-3

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