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2. MIKROSKOPFUNKTIONEN
• Fil. limo
Dieses Tastenfeld hat
zwei
SchaltzusLände, die von keinen anderen Einstellungen abhängig
sind. Sie können mit ihm einen Grenzwert für den Kathodenheizstrom und eine Einstellung
für die Kippung und Strahlverschiebung definieren.
Wenn Fil. limo angeklickt wird, werden die
geltenden
Werte für die folgenden Parameter
auf der System-Harddisk abgespeichert: Kathodenheizstrom
(dies
wird dann die Stromgren-
ze) und Strahlkippung. Wenn das Markierungsfeld angeklickt
wird,
während die Kathode
gesättigt ist, bewirkt der
Einschaltbefehl
Ein (Beam ON) automatisch
eine
allmähliche
Sänigung der Kathode.
Diese Parameter werden auf der Platte
gespeichert
und nach einem Neusl3rt des Systems
(Einschalten der Netzspannung) wieder als aktuelle Wene benutzt. Dies bewirkt einen au-
tomatischen Ablauf, wenn Sie Ein (Beam ON) anklicken, wodurch die Kathode langsam
aufgeheizt wird, bis der Grenzwert
erreicht
ist. Außerdem kann der eingestellte Kathoden-
heizstrom (Regler Heizstrom (Fil. Current)) niemals den Grenzwert überschreiten
(d.h.
den tatsächlichen Wert des Stromes
zu
dem Zeitpunkt, zu dem Fil. limo eingestellt wurde).
Wenn man versucht den Kathodenheizstrom über den Grenzwert hinaus
zu
steigern, gibt
der Computer einen Signalton als Warnung ab und der Regler läßt sich nicht weiter nach
rechts verschieben.
Wenn Sie Fil. limo nochmals
anklicken,
verändert
sich
die Farbe dieses Feldes von
grün
nach weiß und die Begrenzung für den Heizstrom ist aufgehoben. Dies bedeutet, daß man
jeden beliebigen Kathodenheizstrom über den Regler
einstellen
kann und daß ein Anklicken
von Ein (Beam ON)
(Farbe
verändert von
weiß
nach
grün)
nur bewirkt, daß die Hoch-
spannung eingeSChaltet und der Heizstrom auf Null eingestellt wird. Man beachte, daß man
bei nicht eingeSChalteter Strombegrenzung
(grünes
Feld) in der Lage ist, die Kathode
zu
überheizen.
Anmerkung:
Wenn
Einstellungen
an der Kathodenanordnung vorgenommen werden
(Justierung
der Spitze, Wechsel der Kathode), hat das SysLCm selbst be-
reits festgestellt, daß die Emissionskammer geöffnet wttrde. In diesem Fall
wird die Hochspannungsfreigabetaste auf dem Bedienungsfeld automa-
tisch ausgeschaltet. Der Grund hierfür ist, daß Änderungen am Kathoden
-
system Einnuß auf die Justierung und den Sättigungspunkt haben. In ei-
nem solchen Fall müssen die Bedingungen für die neue Kathode
(Justierung und Heizstrombcgrenzung) neu
ermittelt
werden und man
muß
wieder
Fil. limo
wählen .
• Strahljust. (Align Gun) (Option PW6863)
Diese Funktion
enthält
als Zusatzaussl3ttung lieferbare Softwareroutinen, die die Elektro-
nenkanone automatisch justieren und die Sättigung
einstellen.
Bei der automatischen Justie-
rung werden die Spulen für die Strahlkippung
so eingestellt,
daß eine maximale, homogene
Beleuchtung des Präparats
erreicht
wird.
Vor Einschalten der Funktion muß die Kathode
gesättigt,
der SE-Detektor eingeschaltet
und ein Präparat eingesetzt werden, das bei niedriger Vergrößerung mehr oder weniger
homogen
aussieht.
Nach
Einschalten
beginnt die Routine mit einer Iteration der automati-
schen Justierung von Kontrast und Helligkeit und der Einstellung der Strahlkippspulen. Auf
diese Weise wird
eine
homogene und maximale
Beleuchtung
des Präparats erreicht. Die
Routine kann jederzeit durch Anklicken des Tastenfeldes Abbr. (CanceI) abgebrochen
werden
.
• Strahlkippung (Gun Tilt)
Dies ist
ein zweidimensionaler
Regler mit
einem Kreuz,
das die
eingestellte
Position der
Strahlkippung angibL
Die
beiden zugehörigen
Ablenkspulcn dienen
zur
Justierung des
ElektronenstrahIs.
Die Einstellung
geschielit
dadurch, daß man die
Beleuchtung
eines ho-
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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