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3. INBETRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
Regelmäßige Überprüfung des Vakuumdrucks und des Heizstroms
Während des Betriebes wird empfohlen, den talSächlichen Wert des Kathodenheizslroms
und den Vakuumdruck in der Emissionskammer ab und
zu zu
überprüfen. Der Heizstrom
sollLe ungefahr dem Zielwert
(mit
einer Genauigkeit von
ca.
10
%)
entsprechen.
Wenn die
Abweichung größer ist, muß man das Tastenfeld Start anklicken, um die automatische
EinsLellung erneut zu aktivieren. Auch der Druck in der
Emissionskammer
muß überwacht
werden. Man wird feSlSLellen, daß die Anzeige normalerweise
schwarz
ausgegeben wird
(besser als
2xlO- 7
mbar). Wenn der Druckwert rot
angezeigt
wird, ist der Wen größer
oder
gleich
2x10- 7
mbar. Es ist
zwar zulässig,
mit rot angezeigten DruckwerLen
zu
arbeiten,
al-
lerdings darf der Druck nicht5xJO-7 mbar überschreiten
(dies
könnLe
bei einer
neuen Ka-
thode vorkommen). Allerdings ist anzumerken, daß Druckwerte von über Ix 10- 7 mbar
(während längerer Zeiträume) die Kathodenlebensdauer
reduzieren.
Bei
extrem schlechLen
DruckwerLen
(über
5xlO- 5 mbar)
wird
die lGP
automatisch
ausgeschalLet (Hardware-Si-
cherheilSschaltung).
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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