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3.INBElRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
Abb.3.7:
Crossover·Bild
(Untersättigungswen)
3.5.2.
Endgültige Einstellung der Sättigung
Nachdem
sich
das System
stabilisiert
hat, kann man
Crossover
im Bedienungsfeld
Strahl
(Beam)
betätigen, um das
"Maltcser-Kreuz"-Muster
zu beobachten, das für die für dicscs
Rasterelektronenmikroskop
empfohlenen
FEI-Kathoden typisch ist
(siehe
Abb.
3.5).
Anmerkung:
Die meisten LaB6-Kathoden anderer Hersteller mit Minivogel-Montage
zeigen
ähnliche Muster, bei anderen Montageweisen ist dies jedoch mög-
licherweise nicht der Fall. In diesem Fall
zeigen sie gewöhnlich
ein run-
des Muster ähnlich
einer
Wolfram-Kathode
(W)
im Crossover-Betrieb.
•
•
•
Um das Crossover-Bild richtig
beobachten zu
können, muß die Helligkeit
zurück-
gestellt werden,
so
daß der Hintergrund
schwarz
ist. Die KontrasteinsteIlung ist
so
zu optimieren, daß man den hellen Millelpunkt mit den ausstrahlenden Armen
siehL
Die Strahlkippung ist
so
einzustellen, daß das Crossover-Bild auf Schirm-
mille zentriert ist. Die Strahlkippung im Crossover-Betrieb arbeitet IOx gröber als
normal.
Den
End-Strom
in Schrillen von 0,1 A reduzieren und
gleichzeitig
den Einnuß
auf das Crossover-Bild
bei
jeder Stufe beobachten. Es kann nötig
werden, gele-
gentlich den Kontrast nachzujustieren. Eine
optimale
Sättigung ist
erreicht, wenn
sich
der kleinste, hellste und kompakteste Lichtpunkt in der Mille des
erweitenen
"Malteser
KreU7.es" befindet.
Um
eine evemuelle Umersättigung
festzustellen und diese nicht mit der
optimalen
Bedingung
zu
verwechseln, ist
es empfehlenswen,
über den Sätugungszustand
hinaus
auf
niedrigere Wene des KathodenheizstIoms weiterzugehen, um die
Un-
tersälligung
zu beobachten
und dann
zum Optimum
zurückzukehren, dessen Wen
man
vorher zweckmäßigerweise n.otiert.
Damit
kann
man feststellen,
wann
und
wo
die
Sättigung
richtig
ist (siehe Abb. 3.6
und
3.7).
Phi I ips XL-Rasterelektronenmikroskop
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