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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 167

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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6. DIE WICHTIGSTEN XL-OPTIONEN
6_1_2_
Der Kathodolumineszenz-Detektor PW6SS6
Der zurückzieh bare Kathodolumineszenz-Detektor
(CL)
für XL-Mikroskope wird an der
Seitenöffnung der Kammer gegenüber dem SE-Delektor momien. Das vom Präparal abge-
gebene Lichl wird durch einen Refleklor aus hochreinem Aluminium auf den Photomulti-
plier fokussien. Die Bi-Alkali-FOlokathode iSl für Wellenlängen im Bereich von 330
bis
600 nm empfindlich. Während
das
Mikroskop in Betrieb iSl, kann der Detektor
ein-
und
ausgefahren werden. Der Reflex ionsspiegel wird dabei direkt unter der Endlinse positio-
niert. Die aktive Fläche des Reflektors von
8 x
8 mm
gewährleislet
einen Raumwinkel
bis
zu annähernd maximal 21t.
Betriebsweise
Die Bedienungselemente für den Delektor sind
vollständig
in die SLandardsoflware für das
XL-Elektronenmikroskop imegrien
(einschließlich
der Mischung der Detektorsignale). Der
Detektor funktionien bei allen verfügbaren Rasterfrcquenzen
einschließlich
TV. Die Wahl
des Detektors kann über das Menü
Detektoren
(Detectors) in der Menüleiste
erfolgen.
Die Regler für Kontrast
und
Helligkeit werden aUlomatisch dem CL-Detektor zugewiesen,
nachdem er gewählt
wurde.
Dabei iSl anzumerken
,
daß der CL-Detektor auf ähnliche
Weise wie der SED bedient wird und daß die Vakuum-Verriegelung und die
Strahlgrößen-
kompensation für Kontrast und Helligkeit auf dieselbe Weise wirken
(automatische
Ab-
schallung
der Betriebsspannung des
Photomultipliers
bei
Belüftung der
Kammer).
Es wird empfohlen, den Deteklor außerhalb der Arbeitsposition
(zurückgezogen) zu
belas-
sen,
wenn er nicht benutzt wird. Der
Detektor
kann durch Lösen der mechanischen
Siche-
rungen und vorsichtiges Drehen des Knopfes in die Kammer eingeschoben werden
.
Davor
überzeugen Sie
sich
bitte, daß
das
Präparal nicht im Weg
ist.
Bei
in
Position A
befindli-
chem Detektor muß das Präparat einen Arbeitsabstand
von
mindestens 10 mm und in
Posi-
tion B von mindestens 15 mm haben
.
Der Delektor kann sowohl
bei
belüfteter Kammer
als
auch
in evakuienem
Zustand
ein-
und au sgeschoben werden.
ACHTUNG
:
1.
Wenn die Präparalkammer umer Vakuum
steht,
übt der Luftdruck
eine
nach
innen ge-
richlete Krafl auf den Delektor
aus.
Obwohl
die
Delektorbaugruppe
mil
einer
mechani
-
schen
Sicherung ausgerüstet ist, müssen Sie dafür
sorgen,
daß der Detektor
langsam in
Position gebracht wird, wobei die
zusätzliche
Druckkraft
zu
berücksichtigen ist.
Der
Vakuumdruck in der Kammer kann dabei
ca.
10 Sekunden lang
elwas
ansteigen.
2.
Wenn der Detektor völlig von der Kammerwand gelöst
(demontien),
aber
elektrisch
noch
angeschlossen
iSl,
können
schwere
Schäden
eintreten,
wenn dieser Detektor
aus
Versehen in der Liste gewählt
wird,
da dann die Betriebsspannungen eingeschaltet
werden. Wenn der Detektor also
aus
irgendeinem Grund
aus
der Kammer
herausge-
nommen wird,
sorgen
Sie bilte dafür, daß
alle
Kabel
gelöst
werden
,
bevor Sie
die
Kammer wieder
auspumpen.
Wenn der Deteklor positionien iSl, kann
seine
horizontale
Zentrierung (wieder) eingeslelll
werden, indem man den EinsleIlring
(den
mechani schcn
Anschlag)
auf der
Außenseilc
drehl und
das
SE-Bild
bei
niedriger
Vergrößerung
beobachleL
Der
Umriß
der
Eintritts-
öffnung
für den
Elektronenstrahl wird bei
minimaler Vergrößerung und Strahlgröße
5
sichlbar.
Durch Drehen
des
Rings
bewegl
sich
das
Loch
auf
dem Schirm nach
links oder
rechts und durch
Zentrieren
des
Loches
wird
eine
Feineinslellung
der
Delektorposition
er-
reicht.
Phi
I
ips
XL-Raslcrelektroncnm ikroskop

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