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2.
M1KROSKOPFUNKTIONEN
2.4.2. Gruppe: Vakuum (Vacuum) (für LaB6-Systeme)
Für LaB6 gibt es zusätzliche
Bedienungselemente,
Befehle
und
Meldungen,
SO
zum
Beispiel
für den Status der Emissionskammer.
Pumpen (Pump)
Durch
Anklicken von
Pumpen (Pump)
wird
das
ODPfTMP-System gestanet
und
beginnt
mit dem
Evakuieren
der
Präparatkammer. Wenn
das
Vakuum OK ist, kann die
Elektronen-
kanone eingeschaltet
werden.
Ist
das Vakuum in der Emissionskammer
nicht
OK, wird
dies
blockien
und
es erscheint eine
Meldung
auf dem Schirm mit
der
Anweisung,
das
Start
(Start-up)-Tastenfeld
anzuklicken
und
damit das Evakuieren
und Ausheizen
in der
Emis-
sionskammer zu stanen. Wenn
Pumpen (Pump)
aktiv ist, änden sich
die
Farbe des Fel-
des
von weiß in grün.
Pumpstatus
An
dieser Stelle
können verschiedene Meldungen angezeigt werden, die den Zustand
des
Vakuumsystems
wiedergeben:
•
Heizung
(Heating):
Diese Meldung erscheint
nur
während des Stanvorgangs
eines
Systems
mit
Oldiffusionspumpe
(ODP).
Sie weist darauf hin, daß die Betriebstempera-
tur der
Pumpe
noch nicht hoch
genug ist
und
daß
der
Aufheizvorgang
der
ODP
begon-
nen
hat. Das
Aufheizen dauen
ungefähr
25
Minuten.
Danach erscheint die Meldung
Nicht aktiv
(Idle).
•
Pumpt
(Pumping):
Diese Meldung bedeutet, daß das
Syst~m
tatsächlich
mit
dem
Auspumpen der Kammer
begonnen
hat.
Die
Dauer
des
Pumllvorgangs ist von der
Größe der Kammer abhängig und beträgt einige Minuten.
•
VorVak
(PreVac):
Dies zeigt an,
daß der Vakuumzyklus
im Gange ist. Die
Präpa-
ratkarnmer wird
nicht mehr
von der Rotationspumpe, sondern
direkt
von der ODP
aus-
gepumpt
•
KamVak OK
(VacSpOK):
Diese Meldung gibt an, daß das Vakuum in der
Präpa-
ratkammer besser als 10-4
mbar
ist. Der tatsächliche
Wen
wird
nur
bei
TMP-Syste-
men,
bzw., falls
die
Penning-Option PW6956 vorhanden ist, angezeigt Diese
Meldung
gibt also an, daß zwar in
der
Präparatkammer die richtigen Betriebsbedingungen
herr-
schen, daß Vakuum in der Emissionskammer jedoch
noch nicht
gut genug ist, um
das
System in Betrieb
nehmen
zu können.
•
Yak OK (Vac OK):
Diese Meldung gibt an
,
daß
nicht
nur das Vakuum in der
Präpa-
ratkarnmer, sondern auch in
der
Emissionskammer OK ist. Nun kann der
Elektronen-
strahl eingeschaltet werden. Das Instrument
hat
eine Sicherheitsverriegelung, die ein
Einschalten der Elektronenkanone erst dann zuläßt, wenn
Yak OK (Vac OK)
sichtbar
ist
•
Nicht aktiv
(Idle):
Dies
ist
der Normalzustand eines
ODP-Systems.
Die Meldung
bedeutet, daß
die
Öldiffusionspumpe betriebsbereit ist, jedoch kein Pump- oder
Belüf-
tungsvorgang im
Gange ist. Die
Meldung
wird auch angezeigt, wenn die Kammer
be-
lüftet
und
die Spülzeit abgelaufen ist
•
U/min 60% (RPM 60%)
:
leku1arpumpe
und
gibt
(Berei tschaf tsbetrieb).
Diese
Meldung gilt für ein
System
mit einer
Turbomo-
an,
daß
diese
mit
reduziener
Drehzahl
läuft
•
Abkühlung (Cooling)
:
Diese
Meldung wird ausschließlich während
des norma-
len
Abkühlens eines
ODP-Systems
angezeigt.
Sie
erscheint nach dem Anklicken von
Aus
(Shutdown) und
bedeutet,
daß
die
Öldiffusionspumpe nicht mehr geheizt
wird.
Die
Rotationspumpe
läuft
weiter, bis die
ODP genügend abgekühlt ist.
42
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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