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Montage Der Kathode Und Wehnelt·blcnde; A.1A . Einstellung Der Kathodenposition - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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A.1. Spezielle Kalhodenhalterung
A.1.3. Montage der Kathode und Wehnelt-Blende
(siehe Abb. A.2)
ACHTUNG:
Bei der Montage
einer
Kathode iSl große Sorg fall nOlwendig. Dies gill
besonders bei
der
Einslellung des Abstandes zwischen Kathode und
Wehnell·Zylinder. Falls die SpiLZe der Kathode in Berührung mil der
Wehnell-Blende komml, kann
sie sehr
leichl beschädigl werden.
I.
Die Federscheibe (14) auf die Unterseite des Glaslellers der Kathode (12)
setzen.
De-
bei
darauf
achlen, daß der SchliLZ (13) im Glasleller der Kathode mil dem SchliLZ in
der Federscheibe (14) ausgerichlel ist.
2.
Die Kathode in das Gehäuse der Kathodenhallerung
(5)
einseLZen. Dabei darauf ach-
len,
daß der SchliLZ (13) im Glasleller der Kalhode in den Stift (2) eingreift. Die Feder-
sc heibe
(14) muß
sich
nun
zwischen
dem Glasleller der Kathode
(12)
und dem Gehäu-
se der Kathodenhallerung
befinden.
3.
Den Kalhodenbefesligungsring
(6)
mil der Federscheibe festsChrauben, um die Ka-
thode
zu
befestigen. Der Ring darf nur mit den Fingern angezogen
werden.
4.
Falls die Blende
zwecks
Reinigung herausgenommen wurde, iSl
sie
im Wehnelt-Zylin-
der (9) wieder anzubringen. Dies
geschieht
in umgekehoer Reihenfolge von Schriu
2
des obigen Abschnitts A.1.2.
5.
Den inneren Teil des Hauptgehäuses der Kathodenhalterung um drei
Umdrehungen
nach rechts
gegenüber
dem
äußeren
Teil
verdrehen.
6.
Den Wehnelt-Zylinder
(9) auf
das
Ende
(3)
des Hauplteils der Kathodenhalterung
(5)
setzen.
Dabei muß der
Stift auf dem
Innemand des Wehnell-Zylinders
(8)
in die
Nut
(I)
fallen.
A.1.4. Einstellung der Kathodenposition
(siehe
Abb. A.2)
ACHTUNG:
Bei dieser Arbeil ist
große Sorgfah
nÖlig. Falls die Kathodenspitze in Be-
rührung mit der Wehnell-Blende komml, kann
sie sehr
leicht
beschädigl
werden
.
I.
Mil einem Binokularmikroskop mit Beleuchtung die Position der Kathode
durch
die
Wehnell-Blende
beobachlen. Es
kann notwendig
werden,
die Kathodenhalterung
elwas
zu
kippen und den
Fokus
des
Mikroskops
einzustellen,
damit dies möglich
wlfd.
Anmerkung:
Falls die SpiLZe auf diese Weise nicht
zu sehen
ist, ist die
Zen-
lrierung der Kathode
sehr schlecht.
In diesem Fall die Schriue
2
bis
6
im
obigen
Abschniu A.1.3
ohne
die Wehneh-Blende
wie-
derholen. Dadurch kann eine fehljustiene Kathode sehr leicht in
eine
ungefähr
zentrale
Position
gebrachl
werden.
Nachdem dies
erreichl
ist, die Wehnelt-Blende wie in Schrilt 4 bis
6
von Ab-
schniu
A.1
.3
beschrieben,
montieren und
das
Verfahren
fonsel-
zen.
2.
Die Kathodenspitze mil Hilfe der drei
Schrauben (4) zenuieren,
die man durch die
Lö-
cher (15)
im Wehnell-Zylinder
(9) erreicht.
3.
Den Wehnell-Zylinder
(9) gegenüber
dem Hauptteil der Kathodenhalterung
(5)
um
ei-
ne halbe
Umdrehung
nach links
verdrehen.
4.
Die
Zenlrierung
der Kalhode nachprüfen und nötigenfalls
wie
in
Schrill 2 beschrieben,
nachjuslieren.
Software-Vers
ion
4.x
223

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