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3.2.
Ein-
und Ausschallen
,
SyslemSlarl
und BereilschaflSZUSland
bei
LaB6-Syslcmen
Abb.3.1
:
Schemazeichnung
des
vollständigen Vakuum
systems eines
ODP-LaB
6 -
Systems (Specimen chamber
=
Präparalkammer,
opLional
Pirani
gauge
=
als
ZusatzauSSlallung
lieferbares Pirani-Druckmeßinstrumenl,
buffer tank
=
Puffertank
,
IGP
=
Ionengetterpumpe, ODP
=
Öldiffusionspumpe, PVP
=
Vorvakuumpumpe)
IGP
SPECIMEN
CHAMBER
P3
/~-~\
I ..
~./-~""'
,
v
•
,
,
optionä"t'
penning gauge
Software-Version
4.x
BUFFER
TANK
V12
PVP
P1
pirani
gauge
89
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