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2.
MIKROSKOPFUNKTIONEN·
2.5.2. Gruppe: Fokus (Focus)
Fokus (Focus):
Dieses Tastenfeld schaltet die Autofokus-Funktion
ein
,
die auch durch Drücken der Funk-
tionstaste (FII) aktiviert werden kann
.
Das Instrument merkt
sich
die eingestellte Raster-
frequenz und
schaltet
nötigenfalls auf
TV.
Danach werden Kontrast und Helligkeit ange-
paßt und die Autofokus-Routine
gestartet.
Sie benutzt
viele
Pixel des Bildes und mehrere
Bilder hintereinander, die aufintegriert werden. Aus dem integrierten
Bild
wird
ein
Kon-
trastwert ermitteil Auf diese Weise wird für verschiedene Endlinsenströme ein Kontrast-
wert ermittelt und der optimale Fokuspunkt eingestellt.
Man beachte, daß das Instrument
selbst
die Vergrößerung
verändert,
wenn
in
der Nähe der
vorgegebenen Einstellung kein Fokuspunkt
gefunden werden
kann. Außerdem wird
auto-
matisch die Vergrößerung
angepaß~
um
einen
richtig
eingestellten
Fokus bei der
gewünschten Vergrößerung zu ermitteln
(d.h.
der Vergrößerung
zu
dem Zeitpunkt,
zu
dem
das Tastenfeld angeklickt wurde). Die Autofokus-Routine berückSiChtigt die
gewählte
Strahlgröße. So kompensiert
sie
z.B. das
schlechtere
Signal/Rauschverhälmis bei kleinem
Strahl, indem sie die Integrationszeit verlängert. Aus diesem Grund ist die zum Fokussieren
benötige Zeit unterschiedlich und kann
zwischen
ca.
3
Sekunden und einer halben Minute
betragen. Einige dieser Parameter kann man über die als Zusatzausslauung lieferbare
Einst.
(Setup)-Einrichtung verändern.
Die automatische Fokusroutine kann jederzeit durch Anklicken des Tastenfeldes
Abbr.
(Cancei)
abgebrochen werden, das während des Ablaufs
im
Dialogfenster
verfügbar
iSL
Am Ende der Autofokusroutine
schaltet
das Instrument
automatisch
auf den
vorherigen
Ra-
stermodus und die vor dem Start der Routine
eingestellten
Kontrast- und HelligkeilSwerte
zurück.
Stigm:
Dieses Tastenfeld aktiviert die Autostigmator-Funktion, die
auch
durch Drücken der Funk-
tionstaste (FIO) eingeschaltet werden kann. Die Betriebsweise dieses BedienungselemenlS
ist dieselbe wie bei der
AUlOfokusroutine.
Allerdings wird in diesem Fall der absolute Kon-
trastwert auf andere Weise berechnet und die Stigmatorregler
werden
verstellt
(anstelle des
Endlinsenstroms).
Die automatische Stigmatorroutine kann jederleit durch Anklicken des Tastenfeldes
Abbr.
(Cancei)
abgebrochen werden, das während des Ablaufs im Dialogfenster verfügbar ist.
Zu
Ende der Stigmatorroutine
schaltet
das Instrument
automatisch
auf den vorherigen
Raster-
modus und die vor dem Start der Routine
eingestellten Kontrast-
und HelligkeilSwerte
zu-
rück.
Fenster (Window):
Dieses Tastenfeld dient als Hilfe
zur
raschen Beurteilung des Fokuspunktes. Nach
An-
klicken dieses Tastenfeldes wird der Rastermodus
gelindert:
SlowSc 1
und
Teilbild
(SeI.
areal
werden eingeschaltet. Auf diese Weise wird nur
ein
Teil des Bildes in SlowScan wie-
dergegeben und man erhält
ein
rauschfreies
Bild zur
Beurteilung der Fokuseinstellung.
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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