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5.
PRÄPARATIISCHE
5.3.4. X,
Y-
und Rotationsregler
Diese Bewegungen
werden
durch
die Software
des Mikroskops
gesteuert.
Hierfür
gibt
es
den
Gel· und
den
Track·Modus sowie eine
DirekteinsteIlung von
eingetippten
Koordina-
ten,
siehe
hier
l
U
Abschniu
2.5
Positionierung.
5.3.5. Alternative Präparathalter und der Parallelsupport
Das Goniometer kann
eine große Auswah
l
von
Haltern mil den
unterschiedlichsten
Monta-
gemöglichkeiten aufnehmen
.
Die folgenden Halter
sind lieferbar:
PW6819
PW682
I
Präparathaltersatz mit
•
16 Stub-Halter
•
4 SlUb-30 Grad- Vorkipphaller
•
Wafer-Strip-Halter
•
Mehrzweck-Klemmhaller.
Multi-Analysen-Präparathalter
für
bis
zu 5
metallurgische Träger
von
I
Zoll
und 1,25
Zoll.
PW68I3Wafer-Halter
3, 4,5,6
und
8 Zoll.
Der
16 SlUb-Halter,
der Multi-Analysen-Haller und
alle
Wafer· Halter
werden auf
dem Pa-
rallelsuppon
(Abb. 5. 18)
montiert. Diese Vorrichtung
sorgl
für Parallelität
zwischen
der
ebenen OberOäche des Halters
und
dem
Präparattisch,
wenn
die Rotation des Gonior.1rters
auf 0° eingestellt
ist. Dies ist
besonders wichtig bei
der
Untersuchung großer, ebener
Pro-
ben, z.B.
Wafern.
Der
Träger
wird
mit
zwei Befestigungsschrauben (I) auf
dem Goniometertisch montien.
Er
gehön
zu
einern bestimmten
Instrument und
wird bei
Mitlieferung mit dem
Standardmikro-
skop im
Werk richtig
eingestellt.
Achten Sie
sorgfaltig
darauf, daß die
drei voreingestellten Eichschrauben (2) genau auf
die
drei Quarzplatten
auf
dem
Goniometerti
sch
fallen. Dies
wi
rd
dadurch
erreicht,
daß
Sie
die
beiden
Zentrierstifte auf
der
Unterseite
der Vorrichtung in die
beiden Schlitze
des
Gonio-
metenisches
einsetzen.
Die Halter passen
auf
die Oberseite des Parallelträgers und
werden
mit
einer Zentral-
schraube am GoniometerLisch
befestigl. Diese
Schraube hält gleichzeitig
den Parallel träger
fest. Der
gesamte Druck
nach unten kommt
von
dieser
Zcntralschraube.
ACHTUNG
1)
2)
Die
Befestigungssc
hrauben
(1) sind
nur einzuschrauben,
sie
dürfen jedoch
nicht festgeschraubt werden!!
Überzeugen Sie sich
davon, daß der Parallel.
träger noch beweglich ist, bevor der
tatsächliche
Halter montiert
wird. Die
einzige Aufgabe
der Beschäftigungsschrauben
besteht
darin
zu verhindern,
daß der Träger
vom Tisch abrutscht,
wenn
ein
Halter montiert
wird.
Die
3
voreingestellten Eichschrauben
(2)
sind im Werk
oder
durch
einen
qua-
lifizierten
Service· Techniker eingestellt
worden. Ihre
Einstellung
darf
keines·
falis
geändert werden.
Phil ips XL-Rasterelcktroncnm ikroskop
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