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Die Kathode Demontieren - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
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7.3. Kathode und Wehnelt-Blende auswechseln
7_3.1. Die Kathode demontieren
10
Die Kathodenhalterung in den KunsLStoffträger derart einsetzen,
daß
der untere Teil
(5a)
des Wehnelt-Zylinders sich nicht mehr gegenüber dem Werkzeug verdrehen läßt.
Dadurch wird es
leichter,
die beiden Teile mit Handsehuhen gegeneinander
zu
verdrehen
(siehe
Abb.
7.1,
7.2).
2b
20
3
.
I-\>-_LO
1b
L--Lb
Sc
6
Abb.7.1:
Die Einzelteile der Kathodenhalterung
2
Den oberen Teil (2a) des Wehnelt-Zylinders um 3 Skalenteile nach links drehen
(in
Gegenrichtung
zum
Pfeil (5c». Auf diese Weise wird die Kathode von der Wehnelt·
Blende
zurückgezogen
(Ja).
3
Mit dem Spezial
schraubenzieher (6)
die drei Schrauben
(2b)
lösen, indem man
sie
je-
weils um eine halbe Umdrehung nach links drehL Dadurch wird die Bajoneufassung
entriegelt,
so
daß die Wehnelt-Blende (la) abgenommen werden kann.
4
Den Kathodenhaltering (7a) mit dem Spezialwerkzeug (8) losschrauben und
vom
oberen Teil des Wehnelt-Zylinders abnehmen. Die Kathode
(4a)
liegt nun frei und
kann herausgenommen und
ersetzt
werden.
Software·
Version
4.x
201

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