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2.4.
Bcdienungsfeld:
Eins\ellung (Selüngs)
2.4.4. Gruppe: Strahl (Beam) (für LaB6-Systeme)
Diese Gruppe dient zum Einschallen
des
Heizstroms für die Kathode und der Hochspan·
nung für die
Elektronenstrahl·Erzeugung.
Sie ennögliehl
eine
sLUfenlose
Einslellung der
Strahlgröße, die man möglicherweise
zur Oplimierung
der Bildauflösung
oder
des Bündel·
srroms für
Röntgen·Anal ysen brauchL Die
ausvergrößene
Gruppe
ennöglichl
die
Justierung
des
Elektronenslrahls,
die
Einslellung der Slrombegrenzung
für
die
Kathode
(richtiger Säl-
tigungszustand) und die
Feineinslellung der verwendelen
Hochspannung.
HT Ein (HT)
Nach
Anklicken von
HT Ein (HT)
wird die gewählle
Hochspannung
(falls
noch nichl
ge-
schehen)
langsam
eingeschallel
und
das
Syslem
enlSprechend dem mil Speichern (Store
HT)
abgespeichenen
Wen
cingestcllt. Nach
Aklivierung veränden
sich
die Farbe
des Ta·
stenfeldes
von weiß in grün
.
Wenn
dies
nichl
geschieht,
bedeutel dies, daß
das
Vakuum
nichl in Ordnung ist. In
diesem
Fall erscheint
eine enlSprechende
Warnung.
Wenn HT Ein (HT)
grün
ist und angeklickl
wird, wird
die Hochspannung langsam
abge-
schaltet.
Dadurch änden
sich
die Farbe
von
grün in
weiß.
Der Heizstrom wird
dadurch
nicht
beeinOußt.
Emissionsstrom (!lA)
Neben der HT Ein (HT)-Funklion wird
immer
der
Emissionsstrom angezeigt.
Anhand
die-
ser
Anzeige kann man den Verlauf der Kathoden-Aufheizung verfolgen und die
Elektro·
nensrrahlerzeugung im Normalbetricb überprüfen
.
Außerdem kann die Anzeige
zur Einslel-
lung der ordnungsgemäßen Sälligung der Kathode herangezogen
werden.
Wenn die
Hoch-
spannung
ausgeschallel
ist,
lautel die Anzeige HT AUS (HT
off).
Anmerkung:
Der
Emission~stror.1
darf
200
pA
niemals überschreilen,
da
sonSl schwere
Schäden
eintrelcn
können. Wenn der Strom höher
als 200
pA iSl, muß
man entweder
die
Vorspannung der Elektronenkanone ändern
oder
den
Abstand
zwischen
Kathode und Wehnell-Blende verstellen
(siehe
Kapitel
7). Für die
optimale
Funktion der Kathode wird empfohlen, das System
bei einem Emissionswen
von ca.
30 pA
zu
betreiben und 100 pA
mög-
lichsl nichl
zu
überschreilen_
Strahlgröße (Spotsize)
Dieser Regler ennöglichl
eine
slufenlose Änderung der Strahlgröße
(und
damil des
Strahlsrroms).
Der
eingeslelltc
Wen
wird
dir~kt
über dem Regler
(und
in der
Datenleiste)
angezeigt. Wenn man den Regler bedient, bewirkt der eingebaule
Korreklurmechanismus
eine fasl
augenblickliche
Aklualisierung der damil verbundenen Parameter
(z.B.
VersUlr-
kung, Fokus). Aus diesem Grund kann es
so
aussehen, als ob
sich
das Bild
slOßweise
verän-
derte, wenn man die Hochspannung
anders
einstellt.
• Hochspannung (Ace. Voltage)
Dieser Regler erlaubl eine
sLUfenlose
Einslellung der Beschleunigungsspannung. Der
je-
weils
geltende
Wen der Hochspannung wird direkt über dem Regler (und in der
Daten-
leiste) angezeigt. Wenn man den Reglcr bedient, bewirken die eingebauten
Korreklur-
mechanismen
eine
fast kontinuierliche
Änderung
der mit der Hochspannung im
Zusam-
menhang
slehenden
Paramcter
(z.B.
Fokus,
Vorspannung der
Elektronenkanone, Raster-
rotation). Aus
diesem
Grund
kann
sic
h
das
Bild manchmal abrupl
verändern, wenn
man
die
Hochspannung schnell
verändcrt.
• StartiStop
Nach Anklicken
des Start-Taslcnfcldcs
wird der
Heizslrom
automatisch
in
RichlUng des
End-Wertes verändcrt.
Dies bedeutel,
daß, falls
der aktuelle Strom wen
niedriger/höher
als
Software-Version
4.x
51
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