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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 174

Rasterelektronenmikroskope
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6.2. Analyscfunktioncn (PW6878/6852)
Für einen WDX-Detektor
Im Falle eines )Ispec-Detektors kann die Mikroskopsoftware das Öffnen und Schließen des
Detektors
steuern.
Falls der Detektor nicht betriebsbereit ist (WDX-3PC nicht eingeschal-
tet), wird die Textzeile
!Jspec ist aus (!Jspec is off)
neben der WDX-Taste angezeigt.
Wenn die Kommunikation zwischen dem Mikroskop und dem WDX-3PC möglich ist, kann
das WDX- Ventil vom Mikroskop aus
gesteuert
werden.
Wenn die Software auf dem WDX-3PC keine externe Steuerung
zuläßt
(Hauptseite,
Ventil lokal (valve
local)),
kann das Fenster von der Mikroskop-
software
nicht automatisch gesteuert werden.
Wenn die Software des WDX-3PC eine externe Steuerung zuläßt, steuert das Mi-
kroskop beim Belüften oder Auspumpen der Kammer automatisch das Ventil.
Wenn die WDX-Taste gedrückt wird, reagiert das Instrument mit einer Meldung
wie in Abb.
6.1.
Der Grund dafür ist, daß der tatsächliche Druck in der WDX-
Kammer nicht bekannt ist.
Abb.6.1:
Steuerung des WDX- Ventils durch das Mikroskop
Aus Sicherheitsgründen wird das Ventil
erst
nach der nächsten Belüftung der Präparat-
kammer
geöffnet. Der
WDX-Detektor wird während der Vorvakuumphase des Auspump-
zyklus geöffnet
und danach automatisch vor der Belüftung
geschlossen
und
während
des
Auspumpzyklus wieder
geöffnet.
Software-Version 4.x
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