Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 172

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

Werbung

6. I. Detektoren
6.1.5. Der EDX!WDX·Detektor
XL-Mikroskope können mit einer Vielzahl von EDX-Detektoren ausgerüstCl werden. Bei
allen Systemen wird der Detektor in der linken Ecke der Rückwand montiert, woraus
sich
ein Azimulhwinkel von 45° ergibt. Wenn das Präparat in Richtung SED gekippt wird,
be-
deutet dies auch eine Kippung in Richtung auf den
EDX/WDX-DeteklDr.
Der
sogenannte
Abnahmewinkel
(take-off
angle) muß aus der Geometrie des Systems und aus den tatsäch-
lichen Einstellungen bestimmter Parameter (z.B. Arbeitsabstand und Maßstabsfaktor)
be-
rechnet werden. In der Software des Analysators
(z.B.
PV99 oder DX4)
gibt
es
dafür be-
sondere
Routinen.
Die Eingabedaten für diese Routinen
stehen
weiter unten in Tabelle
6.
I.
XL20
XL20
XL30/XIA0
Flanschwinkel
(0)
16,5
255
35
W-Arbeitsabstand
(mm)
34'(12)
34'
10'
D=Durchschneidun~sabstand
(mm)
12
34
10
E=Höhenwinkel
(0)
16,5
255
35
A-Azimulhwinkel
(0)
45
45
45
S-Skaleneinstelluno (mm)
56'
50'
70'
M-PränaralkiDDun~
(0)
0'
20'
0'
T=Abnahmewinkel
( 0)
35'(16,5)
40'
35'
Tabelle
6.1: Geomelriefaktoren für
EDX-Dctektoren
Die Werte in Klammem
gelten
für Instrumente
mit
EDAX UTW-
oder
S-UTW-DeteklOr.
Die Werte mit' können vom
Benutzer eingestellt
werden
.
Allerdings bewirkt dies einen
anderen AbnahmewinkeI.
Bei
bestimmten
XL-Instrumenten kann
ein
WDX-Detektor
(11
spec)
auf der Kammerrück-
wand montiert
werden.
Da die
Sichtlinie
dieses Detektors mit der Kippachse
zusammen-
fliIlt, beträgt der Abnahmewinkel
(für
ebene Präparate) immer 35°. Durch den Einbau des
Detektors kann der Seitenflansch des Mikroskops nicht mehr benutzt
werden.
Daher ist
er
nicht kompatibel mit: CLD, Robinson-Detektor, Bleiglassichtfenster und Infrarot-Inspek-
tions-Kamera.
Software-Version
4.x
167

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis