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3. INBETRIEBNAHME DES INSTRUMENTS
3.2. EIN- UND AUSSCHALTEN, SYSTEMSTART UND BEREITSCHAFTS-
ZUSTAND BEI LaB
6
-SYSTEMEN
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Vor der Inbetriebnahme des Mikroskops müssen Sie nachprüfen, ob die Stromversorgung,
Druckluft, Kühlwasser und, falls vorgesehen, Stickstoff für die Belüftung vorhanden
sind.
In diesem Abschnitt ist beschrieben, wie der Systemslart eines LaB
6
-Systems ausgeführt
werden muß. Der Hauptzweck des Startzyklus ist für die notwendigen Hochvakuumbedin-
gungen in der Emissionkammer zu
sorgen.
Der erreichte Vakuumdruck ist für die Lebens-
dauer der Kathode von extremer Bedeutung
.
Zu diesem Zweck ist eine eingebaute
Aus-
heizvorrichtung
vorhanden und wird der Vakuumdruck während des SystemSlarlS mehr-
mals geprüft.
Im Gegensatz
zu
W-Instrumenten ist das Vakuum
system
hier mit einem Säulenventil
(in
halber Höhe der Säule) und einem
Umgehungsventil
ausgerüstet. Außerdem ist
eine
Rohr-
leitung
hinzugekommen, die die Emissionskammer und die Präparatkammer verbindet
Alle Ventile werden vollautomatisch
geschaltet.
Eine Schemazeichnung des vollständigen
Vakuumsystems steht in Abb. 3.1. In dieser Abbildung ist das Säulenventil mit V7 und das
Umgehungsventil mit V6 bezeichnet.
Zum Vakuumsystem gehört auch eine eingebaute Vorrichtung
zum
Ausheizen der Emis-
sionskammer. Zu diesem Zweck ist die Säule mit Heizelementen in der Wand der Emissi-
onskammer ausgerüstet. Während des Ausheizens wird der obere Teil der Säule auf eine
Temperatur von ca. 90°C erhitzt. Auf diese Weise wird die Säule
gereinigt
und ein
ausrei-
chendes Endvakuum
gewährleistet.
Die
zusätzlichen
Heizelemente
sind
in Abb. 3.1 nicht
wiedergegeben.
Allerdings hängt der vollständige Startzyklus
slark
vom Ausgangs-Vakuum
zustand
des
In-
struments ab. Aus diesem Grund werden die verschiedenen Startzyklen nun in allen Ein-
zelheiten beschrieben. Man beachte, daß
ein
vollständiger Startzyklus einige Stunden
dau-
ert.
3.2.1. Start eines völlig belüfteten Systems
Hierbei wird angenommen, daß alle von außen kommenden Versorgungsmedien vorhanden
sind und daß das System vollstäudig belüf,et wurde, d.h. sowohl die Emissionskammer als
auch die Präparatkammer befinden sich auf normalem Druck. Die Startroutine beinhaltet
eine Ausheizung des oberen Teils der
elektronenoptischen
Säule
(der
Emissionskammer),
die insgesamt
sechs
Stunden
dauert.
Das Startverfahren kann ausgeführt werden, ohne daß
der Benutzer anwesend sein muß, da es vollautomatisch abläuft. Allerdings ist
zu
empfeh-
len, die ersten dreißig Minuten des Verfahrens abzuwarten um
sicherzugehen,
daß alles
ordnungsgemäß verläuft.
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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