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Ein- Und Ausschalten, Systemstart Und Bereilschaftszustand; Täglicher Betrieb - Philips XL Serie Bedienungsanleitung

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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3.2. Ein- und Ausschalten, Systemstart und BereiLSchaftszustand
bei
LaB6-Systemen
3.2.3. Täglicher Betrieb
Für den Clglichen Beuieb des Instruments
sind zwei
Situationen von Bedeutung:
Wie soll das Instrument tagsüber benutzt werden?
Hierbei
wird
angenommen, daß das Insuument im Dauerbeuieb
benutzt wird,
d.h.
die
Pro-
ben werden
nacheinander untersucht. In diesem Fall bestimmt
das
Belüften und
Auspum-
pen
der Präparalkammer die nichtaktive
Zeit
des
Instruments.
Im allgemeinen
ist
diese
Zeitspanne
im Vergleich
zu
der mit der Untersuchung der Probe
verbrachten Zeit
kurz.
Demzufolge
ist
es sinnvoll, im
DHuerbetrieb die Kathode immer auf derselben Temperatur
zu belassen,
indem man den Heizstrom eingeschaltet läßt. In der Praxis wird dies aUloma-
tisch ausgeführt da während des Präparat wechsels die Hochspannung auf Null
zurückge-
schaltet,
das Säulenventil
geschlossen
und die Präparalkammer belüftet und wieder
ausge-
pumpt wird.
Bei
eingeschalteter
Kathode
geschieht
der
Präparatwechsel
wie
folgt:
Belüften (Vent) anklicken. Die
grüne
Farbe des Feldes HT Ein (HT)
verschwindet
und
die Hochspannung wird
allmählich
ausgeschaltet. Dies wird durch die Meldung Abkühl.
Kath. (Fil.wait) unter dem Feld Pumpen (Pump) angezeigt. Wenn die Hochspannung
völlig
ausgeschaltet
ist,
schließt sich das
Säulenventil und die Präparalkammer wird
belüf-
tet.
Präparatkammer
öffnen
und Präparat
wechseln (siehe
Abschniu4.1
.2).
Tür
schließen
und Pumpen (Pump)
anklicken.
Das Mikroskop wird nun ausgepumpt.
Wenn der Beuiebsdruck erreicht ist
(Anzeige
durch die Meldung yak OK (Vac OK) unter
dem
Feld
Pumpen (Pump)), kann das HT Ein (HT)-Tastenfeld betätigt werden
(Warmstart). Daraufhin
öffnet sich
das Säulenventil und die Hochspannung wird langsam
wieder
eingeschaltet.
Nach
einigen
Sekunden erscheint dann die Beleuchtung
wieder.
Ausschalten des Systems über Nacht
Wenn das Mikroskop
am
nächsten Tag wieder benutzt werden
soll,
kann man die Hoch-
spannung ausschalten und den Kathodenheizstrom
eingeschaltet
lassen, wie dies auch im
täglichen Beuieb während des Präparatwechsels
erfolgt.
Auf diese Weise wird mit
einem
Warmstarl die Beuiebsfähigkeit innerhalb weniger Minuten erreicht. Der
Heizspan·
nungswen kann
entweder auf
dem Säuigungswert belassen oder, wenn man dies
notwendig
findet, um
bis
zu 50%
reduzien
werden.
AUSSChalten des Instruments vor mehrtägiger Nichtbenutzung
Es
wird empfohlen,
den Kathodenheizstrom auszuschalten, wenn das Instrument längere
Zeit (mehrere Tage) nicht benutzt werden soll. Zu diesem Zweck HT Ein (HT) anklicken,
falls die Hochspannung noch eingeschaltet ist. Das Tastenfeld ist dann nicht mehr
grün.
Die Beschleunigungsspannung wird allmählich auf null reduziert Das Sliulenventil
SChließt
Der Wert Null
(0)
muß nun in die Position End des Bedienungsfeldes Strahl
(Beam)
eingetippt
werden. Nach Anklicken des Tasten feldes Start wird der
Kathoden-
heizstrom allmählich auf Null reduziert, wie in der Anzeige Akt: (Act:) zu
sehen.
Die
Po-
sition
End wird automatisch auf den
zuletzt
benutzten Wen zurückgestellt,
bevor die Aus-
schaltung am Ende
dieses
Verfahrens
erfolgt, so
daß ein Neustarten der
HeizstromeinsteI-
lung möglich ist.
Beim nächsten Mal
(oder
nach mehreren Tagen)
wird
das Instrument nach Anklicken
von
Start nach
einiger Zeit voll beuiebsfahig.
Dabei wird der Strahl
wieder eingeschalt.et
und
der
erforderliche
KaLhodenheizstrom und
die
Hochspannung langsam
eingestellt.
Der
"Standby"-Zustand
(Bereitschaftszusta
nd
)
sollte
nur für noch
längere
ZeitSpannen
(Urlaubszeit) benutzt werden, wenn auch die ODP zwecks
höherer
Sicherheit
ausgeschaltet
werden
so
ll.
Software-
Version 4.x
95

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