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2. MIKROSKOPFUNKTIONEN
Stufe
kV
•
Automatisch (Autobias ON)
Dies ist ein Markierungsfeld. Wenn
es
die Bestätigungsmarke trägt,
veränden
die
AUlOmatikfunktion aUlOmatisch den Wehnelt-Widersland, wenn sich die Emission
geänden hat. Auf diese Weise bleibt die Emission immer
zwischen
10
und
50
pA
.
Diese Funktion ist
sehr
nützlich, wenn man die Hochspannung häufig über weite
Bereiche
änden,
da
sie
die Emission
(in
Stufen) optimiert, indem
sie
durch die
Hochspannungsänderungen vermindene oder erhöhte Emission kompensien.
Anmerkung:
"ICC HT
Die automatische Vorspannungseinstellung
ist
nur aktiv,
wenn
Werte durch Speichern (Store HT) in
das
ICC HT
-Menü ein-
gegeben wurden
(auch
wenn die Funktion gewählt wUrde)_ Daher
muß die Vorspannung bei Eingabe der ersten Werte nach dem
Systemslafl für jeden eingegebenen Hochspannungswert manuell
geänden werden. Nachdem die ersten Wene abgespeichen
sind,
funktioniert die Funktion normal.
Dies
ist
das Listenfeld im Konfiguration (SetGun)-Dialogfeld, in dem die richtig
gesät-
tigten Hochspannungswene mit
zentrierter
Beleuchtung mit Hilfe des Speichern (Store
HT)-Tastenfeldes im Strahl (Beam)-Bedienungsfeld
abgespeichen
werden. Das
Ver-
zeichnis dargestellter kV-Einstellungen ist maximal 16 Felder
lang.
" Markierung (Marker)
Dies
ist eine grafische
Hilfe
zur Lokalisierung
des
BeleuchLUngszenlrUms
des
LaB6-Musters
auf
dem
Schirm. Die Marke wird folgendermaßen
benutzt:
Optimieren Sie die Beleuchtung bei 30 kV mit Hilfe des normalen Mikroskopbil-
des. Wählen Sie dann den Crossover-Modus und stellen Sie Kontrast und Heilig-
keit so ein, daß das Crossover-Bild
sichtbar
ist Nun betätigen Sie das Tastenfeld
Markierung (Marker) und
bestätigen es:
Nun
wird eine
Markierung angezeigt
und kann
symmetrisch
um den Zentralteil des Crossover-Bildes
gelegt
werden.
Danach können Sie
eine
andere kV-Einstellung wählen und die Strahlkippung
auf
die
(noch
auf dem Schirm sichtbare) Markierung ausrichten. Damit werden die
verschiedenen Hochspannungswene aufeinander
abgeglichen.
" Crossover (Cross Over)
Der Crossover-Modus dient zum Sichtbarmachen des Crossover-Bildes
zum
Zentrieren der
Beleuchtung und
zur
Anzeige des SätugungszUSlandes
einer
LaB6-Kathode.
Im Crossover-Modus ist das Strahl (Beam)-Menü aktiv,
so
daß Sie verschiedene kV-
Wene wählen
können.
Damit können Sie
eine Grobzentrierung
des
Crossover-Bildes auf
die Markierung (Marker)-position erreichen.
Das Konfiguration (SetGun)-Dialogfe\d
ist auch
im
Crossover-Modus
in Betrieb. Sie
können
es
an
eine
beliebige
Stelle
des Schirmes
verlegen,
indem
Sie die Tilel\eiste
an-
klicken und
das Feld verschieben.
Philips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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