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3.INBE1RlEBNAHME DES INS1RUMENTS
Wir schlagen vor,
zur
Sättigungseinstellung die folgenden Voreinstcllungen zu wählen:
•
HT=30kV
•
Strahlgröße = 5
•
Vorspannung
=
I
•
Crossover-Modus
Das Aufheizen der Kathode muß
sehr
sorgfliltig geschehen, da die Aufheizgeschwindigkeit
einen großen Einfluß auf die
mechanische
Stabilität
der Kathode
haL
Die Aufheiz-
geschwindigkeit wird im Dialogfeld
Konfiguration (SetGun) definierL
Der Standard-
wert
für
die
Aufheizverzögerung
beträgt
15
Sekunden.
Dies ergibt eine Gesamtaufheizzeit
von
mehr
als 150 Sekunden. Hierbei ist anzumerken, daß beim normalen Pr1!paratwechsel
keine
lange
Aufheizzeit erforderlich ist, da der Heizstrom vor dem Präparatwechsel nicht
abgeschaltet wird, sondern
nur die
Hochspannung.
Der Strom, mit dem die Kathode betrieben wird, wird
letztendlich
vom Benutzer festgelegt.
Dabei
dient der
vom Hersteller festgelegte
Richtwert
(guideline value) als
Ausgangspunkt
zur
Auffindung
des richtigen Sättigungszuslalldes einer
neuen
Kathode. Dieser Richtwert
darf
nicht überschrinen werden, da sonst eine schwere Beschädigung oder verminderte Le-
bensdauer die Folge sein könnten. Wenn
der
Hersteller mehrere Stromwerte eingibt, wäh-
len Sie einen aus, der einer Temperatur im Bereich von 1800 - 1850 K entspricht.
ACHTUNG:
Bei einer neuen Kathode wird bei der erstmaligen Aufheizung empfohlen,
mit
einem
Stromwert zu beginnen, der viel niedriger ist als der Richtwert.
Der Grund dafür ist, daß die Kathode beim Aufheizen
Gase
freisetz~
d.h.
der Druck steigt etwas an. Eine Kathode, die bereits in
Betrieb
war und
unter
ordnungsgemäßen Vakuumbedingungen verblieb, zeigt kaum Aus-
gaserscheinungen und kann daher mit dem Sättigungswert gestartet wer-
den, der vorher für dieselbe Kathode benutzt wurde.
Der Strom
wert
muß in
das
Textfeld neben dem Text
End
eingegeben werden
(siehe
Abb. 3.4). Der Wert kann geändert werden, indem man den Mauscursor auf das Textfeld
setzt
und
gleichzeitig die linke Maustaste drückt. Der Wert wird nun in invertierter
Videodarstellung angezeigt und man kann direkt
einen
neuen Wert eintippen. Durch
Klicken auf
Start
(siehe Abb.
4.4)
wird die Aufheizung der Kathode gestartel Der
Akt:
(Act:)-Wert
wird allmählich erreicht und weitere Änderungen arn
End-Wert
können ange-
braCht werden, so daß man allmählich den Richtwert erreicht. Dabei muß man nach jeder
Änderung wieder
Start
betätigen.
Man beachte auch, daß das Markierungsfeld
HT Ein
(HT) grün angezeigt wird und auf diese Weise
angib~
daß die Kathode tatsächlich
einge-
schaltet ist.
Anmerkung
I.
2.
3.
Es ist immer möglich, die Aufheizung der Kathode zu unterbrechen. Insbesondere,
wenn der Druckanstieg durch Gasabgabe zu hoch ist, ist
zu
empfehlen, den
An-
stieg des Kathodenheizstroms
zu stoppen
und
zu
warten, bis
ein
niedriger
stabiler
Wert des Emissionskammerdrucks erreicht wird.
Die automatische Einstellung des vordefinierten Strom werts
gibt einen
Wert,
der
nur in der Nähe des angestrebten Wertes liegt. Ein
geringfügig
zu hoher
(oder
zu
niedriger bei
einer
Stromverminderung) Wert ist möglich. Wenn die Abweichung
zu
groß
ist, kann man das Feld
Start
erneut
anklicken, um das Einstellverfahren
nochmals
zu aktivieren.
Diesen Zustand
sollte
man
I
bis
2
Stunden bis zur vollständigen Stabilisierung
stehen
lassen,
bevor
man die
endgültige Säuigung einstellt.
Phil
ips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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