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Inhaltsverzeichnis
Einleitung
Einleitung zum Xl-Rasterelektronenmikroskop
Die Benutzerschnittstelle
Die Maus
Der Monitor
Die Benulzcrschnittstelle
Die Tastatur
Das Bedienungspult
Bedienungselemente der Präparatusche
Software-Konfiguration
Mikroskop-Funktionen
Das Bedienungspult
Das Bedienungspult eines Wolfram-Systems
Das Bedienungspult für ein Lab6-Sys\Em
Parameter in der Datenleiste
Die Verschiedenen Arten von Datenleisten
Druekdaten der Da\Enleiste
Funktionen der Menüleiste
Bild! (Image!)
Vergrößerung (Magnification)
Strahl (Beam)
Funkgonen der Menüleiste
Raster (Scan)
De\Ektoren
Bildspeicher (Filter)
Ein/Aus (In/Out)
Funklionen der Menüleisle
Funktionen
Bedienungsfelder
BEDIENUNGSFELD: EINSTELLUNG (Settings)
Gruppe: Vakuum (Vacuum) (für W-Systeme)
Bedienungsfeld: Einstellung (Seuings)
Gruppe: Vakuum (Vacuum) (für Lab6-Systeme)
Bedienungsfcld: Einstcllung
Gruppe: Strahl (Beam) (für W-Systeme)
Bedicnungsfcld: Einstcllung
Gruppe: Strahl (Beam) (für Lab6-Systcme)
Bedienungsfeld: Einstellung
Gruppe: Video
Kontrast (Contrast)
Bcdicnungsfcld: Einstellung (Seuings)
BEDIENUNGSFELD: ABBILDUNG (Imaging)
Gruppe: Vergrößerung (Magnification)
Bedienungsfeld: Abbildung (Lmaging)
Gruppe: Fokus (Focus)
Bedicriuogsrcld: Abbildung
Gruppe: Positionierung (Positioning)
Bcdienungsfeld: Abbildung (Imaging)
Bedienungsfeld: Abbildung
BEDIENUNGSFELD: BILDMANIPULATION (Image Manipulation)
Bildtext und Grafik
Bildspeicher und Bildverbcsscrung
BEDIENUNGSFELD: ÜBERSICHT (Survey)
Bedienungsfcld: Übersicht (Survey)
BEDIENUNGSFELD: JUSTIERUNG (Adjusuncnts)
Inbetriebnahme des Instruments
Ein- und Ausschalten und Systemstart bei W-Systemen
Kaltstan
Täglicher Betrieb, Einschalten aus de M Bereitschafts Zustand (Standby)
Umschalten in den Bereitschaftszustand (Standby)
Voll Sll!Ndiges Ausschaltcn
Vollständiges Ausschalten
Ausschalten
EIN- und AUSSCHALTEN, SYSTEMSTART und BEREITSCHAFTSZUSTAND bei Lab6-SYSTEMEN
Start eines Völlig Belüftelen Syslems
Start eines Völlig Belüfteten Systems
Ein- und Ausschalten, Systemstan und Bereilschaflszustand bei Lab6-Systemen
Ein- Itn.D Ausschalten, Systemslart und Bereilschaflszusland bei Lab6-Systemen
Start des Syslems aus dem Bereilschaflszustand (Standby)
Ein- und Ausschalten, Systemstart und Bereilschaftszustand
Täglicher Betrieb
Ein- und Ausschalten, Systemstart und Bereitschaftszustand bei Lab6-Systemen
(Standby)
Ausschalten und Vollständige Belüftung des Systems
Ausschalien und Vollständige Belüflung des Syslems
Ausschallen in Notfällen
Ein- und Ausschalten, Systemstart und Bereitschaftszustand bei Feg-Systemen
Justierung der Elektronenkanone und Säule bei W- Systemen
Sältigungseinslellung der Kalhode
Autosättigung (Autosaturation)
Aulosälligung (Aulosaluration)
Justierung
Justierung der Elerrr,Onenkanone und Säule
JUSTIERUNG der ELEKTRONEN KANONE und SÄULE bei Lab6-SYSTEMEN
Ersunalige Sältigungseinstellung der Kalhode
Endgültige Einstellung der Sättigung
Endgültige Einstellung De, Sälligung
Justierung
Justierung der Elektronenkanone und Säule bei Feg- Systemen
Justierung des Fotomonitors
Normaler Betrieb
Der weg zum Ersten Bild
Vorprüfung
Der weg zum Erslen
Ein Präparat Einselzen
Die Abbildung Einsielien
Präparatbewegung
Das Bild Optimieren
Vergrößerung und Strahlgröße Einstellen
Fokussieren
Den Astigmatismus Korrigieren
Das Bild Fotografieren
Das Videoskop Benutzen
Die Datenleiste
Einsielien
Die Photoscan-Geschwindigkeit Einstellen
Die Karnera
Der Videoprinter
Bildübertragung
Bilddaleiformal
Bilddefinition
Bilder Speichern (IMG-Forrnat)
Bilder Speichern (TIFF-Forrnal)
Bilder Laden (IMG-Forrnat)
Bilder Löschen (IMG- oder TIF-Format)
Ihr Persönliches Verzeichnis
Kurlbedienungsanlcitung
Kurzbedienungsanleitung
Präparattische
Der Präparattisch des Xl20
Kippbewegung
Höheneinstellung des Präparats
Der Rotations-Aufsatztisch
Demontage
Präparathaltersatz (Option PW6820)
Multi-Analysen-Aufsatzisch
Alternative Präparathalter und der Parallelsupport
Präparathaltersatz (Option PW6819)
Der Rückstreuelektronendetektor PW6843
Die Wichtigsten Xl-Optionen
Der Präparatstromdetektor PW6844
Eigenschaften
Detektorsteuerung
Digitale Bildmischung
Einleitung
Berechnung
Einstellungen
Starten des Systems
Definieren von Benutzern
Beschränkung des Zugangs zum System
Informationen für den Registrierten Benutzer
Passwort Ändern
Rücksetz.en (Neustart) des Systems
Protokollführung (Logging)
Wartungsarbeiten
Die Säule Öffnen und Schliessen
Schließen der Säule
Öffnen der Säule
Demontage der Kathodenhalt;:Rung
Die Kalhodenhalterung
Die Kathodenhalterung
Montage der Kathodenhalterung
Kathode und Wehnelt-Blende Auswechseln
Die Kathode Demontieren
Die Kathodenposition Einstellen
Kathode und Wehnelt-Blende Montieren
Kathode und Wehneh-Blende Auswechseln
Die Anode
Die Anodenkappen für Hohe und Niedrige Spannungen Austauschen
Die Anode Demontieren
Die Anode Demontieren
Das Strahlrohr
Das Strahlrohr Demontieren (Abb. 7.5, 7.6)
Das Strahlrohr Montieren
Die Festen Blenden IM Strahlrohr
Die Resten
Die Festen Blenden aus dem Srrahlrohr Herausnehmen
Die Obere Blende aus Ihrem Halter Nehmen
Die Obere Blende in Ihrem Halter Montieren
Die Blende IM Srrahlrohr Montieren (Abb. 7.6)
Die Blende IM Strahlrohr Montieren
Ausbau des Endlinsen-Blendenhalters aus dem Mikroskop
Demontage der Blende aus Ihrem Halter (Abb. 7.7)
Die Endlinsenblende Auswechseln
Montage der Blende in Ihrem Halter (Abb. 7.7)
Wiedereinsetzen des Blendenhalters (Abb.7.6)
Wiedereins~Tz.en des Blendenhalters in das Mikroskop (Abb. 7.6)
Reinigung von Blenden
Reinigungsverfahren
Reinigung der Kathodenhalterung und der Anodenteile
Reinigung des Strahlrohres
Reinigung von Präparathaltern
Verteichnis Empfohlener Reinigungsmittel
VERZEICHNJS Empfohlener Reinigungsmittel
Anhang
Spezielle Kathodenhalterung
Ausbau der Kathode
Demontage der Wehnelt-Blende
A.1A . Einstellung der Kathodenposition
Montage der Kathode und Wehnelt·blcnde
A.l.5. Reinigung der Kathodenhalterung
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