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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 116

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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3.5 Justierung der Elektronenkanone und Säule bei LaB6-Systemen
Den Crossover-Modus ausschalten und zum nonmalen Abbildungsbetrieb
zurück-
kehren. Kontrast und Helligkeit müssen wahrscheinlich nachgestellt werden.
Wenn das BeleuchtungszenlIum ursprünglich im Crossover-Modus mit der
Strahlkippung auf die Schirm mitte
eingestellt
wurde, wird es nun notwendig
sein,
die Strahlkippung
erneut zu
beläLigen
(sie
arbeitet nun lOOx feiner), um die höch-
ste
Helligkeit im Bild zu
erreichen.
Nachdem dies erreicht ist, kann man das Tastenfeld
Speichern (Store HT)
be-
läLigen, um die Parameter der Vorspannungsemstellung und Strahlkippung
zu-
sammen mit der benutzen Hochspannung abzuspeichern. Zum Beispiel Vorspan-
nung
=
I, Strahlkippung X- Y
(aus
dem Gerät ausgelesen) und 30 kV.
Diese Parameter und
spätere
Hinzufügungen werden in einer Aufsuchtabelle auf
der Festplatte abgespeichen, die in einem Listenfeld mit der Bezeichnung
lee HT
im Dialogfeld
Konfiguration (SetGun)
wiedergegeben wird. Bis
zu
16 Parame-
tersätze können gleichzeitig abgespeichen
sein,
daher ist
zu
empfehlen, die am
häufigsten benutzen Hochspannungswene
zwecks
leichterer späterer Wahl abzu-
speichern. Die Mindestanzahl von drei in gutem Abstand angeordneten Werten
enmöglicht eine Interpolation für Zwischenwerte der Hochspannung, mehr Wene
verbessern jedoch die lCC-Funktion,
z.B.
25 kV, 16 kV, 9 kV, 4 kV und I kV.
Ein Überschreiben der Parameter ist
zulässig
und
enmöglicht eine
rasche Aktuali-
sierung
der lCC-Tabelle.
Eine
Löschung ist ebenfalls
zulässig.
Dazu klickt man
den nicht mehr benötigten Wert im Menü
lee HT
an und beläLigt dann das Beslä-
Ligungstastenfeld im BestäLigungsfeld.
Anmerkung:
Es ist
sehr
zu
empfehlen,
die
Einstelbng
der lCC (Illumination Centre
Control
=
Beleuchtungszentrumsteu~rung)
abzuspeichem, da nur dann
auch
nach
einem Start aus dem Standby-Zustand (Bereitschaft) die richti-
gen
Werte bekannt
sind.
Außerdem kann nach dieser Einstellung die Be-
schlcunigungsspannung
der Kathode durch einfaches Anklicken des Ta-
stenfeldes
HT Ein
(HT) im Bedienungsfeld
Strahl (Beam)
beim
lägli-
ehen
Betrieb der Elektronenquelle
ein-
und ausgeschaltet werden.
Zusammenfassend geschieht die GrobeinsteIlung für die Strahlkippung über den Bereich
der gewünschten Beschleunigungsspannungswerte folgendermaßen:
30 kV und Strahlgröße
5 wählen
und
ein
homogenes Präparat einselZen.
Ein Bild machen und Helligkeit
sowie
Kontrast
einstellen.
Die Strahlkippung
so einstellen,
daß
sich eine
homogene und
zentrierte
Beleuch-
tung der Fläche
ergibt.
Den HT-Wert in der ICC-Liste abspeichern.
Den Crossover-Modus wählen, Kontrast und Helligkeit
entsprechend einstellen.
Das Tastenfeld
Markierung (Marker)
betätigen und
besläLigen.
Den Mauscursor auf den
zentralen
Crossover
setzen
und klicken. Nach ein paar
Sekunden ist die Position der Marke abgespeichert und auf dem
Bildschinm
fest-
gelegt.
Einen
anderen
Hochspannungswert
wählen
und den
zentralen
Crossover-Punkt
mit
Strahlkippung
(Gun
Tilt)
auf
die Markierungsfigur
einstellen.
Das Tastenfeld
Speichern
(Store
HT)
belätigen,
dann den nächsthöheren
Hochspannungswert
wählen.
Auf diese Weise wird
eine
Liste von Hochspannungswenen in der lCC-Liste erzeugt. Die-
ses
Verfahren geWährleistet
eine
richtige
Einstellung
der Beleuchtung für
jeden
Hochspan-
nungswert. Eine Feineinstellung
wird
im nonmalen Abbildungsbetrieb
empfohlen.
Auch
dazu benutzt
man die
Strahlkippung (Gun Tilt)
und
Speichern
(Store
HT).
Eine endgültige
Feineinstellung der Strahljustierung kann mit den Bedienungselementen
des Bedienungsfeldes
Justierung
(Adjustments)
vorgenommen werden
.
Software-Version
4.x
111

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