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3.5 Justierung der Elektronenkanone und Säule bei LaB6-Systemen
3-5_
JUSTIERUNG DER ELEKTRONENKANONE UND SÄULE BEI
LaBS-SYSTEMEN
In
diesem
Abschniu wird das Justierverfahren für ElekLronenkanone
und Säule
beschrie-
ben, d.h. die richtige SättigungseinsIellung für die Kathode
und
die elektronische Justie-
rung der Säule mit Hilfe der Software über das Bedienungsfeld
Justierung
(Adjustments).
3_5_1. Erstmalige Sättigungseinstellung der Kathode
Wenn das System betriebsbereit und
der Vakuumzustand
OK ist, erscheint die Meldung
Vak OK (Vac OK)
unter dem Tastenfeld
Pumpen
(Pump).
Nun
muß
die Heizung der
Kathode eingesIeIlt werden. Eine geeignete Beschleunigungsspannung (entsprechend dem
gewählten Anodentyp) wählen. Das Bedienungsfeld
Vakuum (Vacuum)
auf
nonnale
Größe zurückschalten und die Gruppe
Strahl
(Beam) ausvergrößern.
Das
Bedienungsfeld
sieht dann aus wie in Abb. 3.4.
Ges.
Aufheizzeil:
Vorspannung:
Abb.3.4:
Die ausvergrößene Gruppe
Strahl (Beam)
Beim Aufheizen der Kathode
sind zwei
Punkte für Leistung und Lebensdauer sehr
wichtig:
•
Die Aufheizgeschwindigkcit
•
Die richtige Säuigungseinstellung.
Software-
Version
4.x
107
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