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Philips XL Serie Bedienungsanleitung Seite 63

Rasterelektronenmikroskope
Inhaltsverzeichnis

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2. MIKROSKOPFUNKTIONEN
X-Abstand
(X-Measurement) (ODE-Name:
MeasX)
Nach der Wahl den Zeiger auf das Bildfeld setzen und die erste Position wählen.
Linke Maustaste drücken und Maus weiterbewegen. Eine feste vertikale Linie wird
sichtbar, eine andere folgt dem Mauscursor. Der momentane Wert wird in der obe-
ren linken Ecke des Schirms angezeigt. Nach Loslassen der linken Maustaste ist
der Wert fest und die
zweite
grüne Linie
stabil.
V-Abstand (V-Measurement)
(ODE-Name:
MeasV)
Nach dieser Wahl wird
ein
Markierungsfeld für die Kippkorrektur zur Verfügung
gestellL Der zuletzt eingegebene Kippwinkel wird ebenfalls angezeigt. Dieser Wert
sollte dem
tatsächlichen
Wert entsprechen, da er zur automatischen Längenkorrek-
tur
in V-RiChtung benutzt wird
(d.h. senkrecht zur
Kippachse. Der intern
gemes-
sene Wert wird
zu
diesem Zweck durch den Kosinus des Kippwinkels dividiert).
Nach der Wahl den Zeiger auf das Bildfeld
setzen
und
die
erste
Position wählen.
Linke Maustaste drücken und Maus weiterbewegen. Eine feste horizontale Linie
wird sichtbar, eine andere folgt dem Mauscursor. Der momentane Wert wird in der
oberen linken
Ecke des Schirms angezeigt. Nach Loslassen der linken MaUSlaSte
ist der Wert fest und die
zweite grüne
Linie
stabil.
Punktabstand (Random points) (Option PW6866)
(ODE-Name:
MeasLength)
Auch nach dieser Wahl wird ein Markierungsfeld zur Kompensation der Präpa-
ralkippung zur Verfügung gestellt. Nach der Wahl den Zeiger auf ein Bilddetail
auf
dem
Schirm
setzen.
Die linke Maustaste drücken und
die
Maus zum nächsten
Detail bewegen, um den Abstand
zu
messen. Der momentane Wert wird in der
oberen
linken
Schirmecke und der erste Punkt im Bild mit einem kleinen grünen
Kreuz angezeigt. Ein
zweites
grünes Kreuz ist die Position des Mauscursors. Nach
Loslassen der Taste wird der Wert fixiert und als Länge in der oberen linken Ecke
angezeigt.
StereohOhe (Stereo Height)
(Option
PW6866)
(ODE-Name:
MeasHeigth)
Man kann Höhen am Präparat messen, indem man zwei Messungen desselben
Probendetails ausfühn und dabei unterschiedliche Kippwinkel benutzt. Die Mes-
sung geschieht in einer festen Reihenfolge mit einem ähnlichen schriuweisen Ver-
fahren wie bei den Justierungen (Strahljustierung). Allerdings muß man vor Be-
ginn der Messung sicherstellen, daß die Rasterrotation auf null eingestellt ist.
Um eine gute Genauigkeit der Messung
zu
erreichen, muß folgendes berücksichtigt
werden:
Eine Vergrößerung einstellen, bei der das zu messende Detail auf dem Schirm
genügend groß
und
vorzugsweise in Richlung der y-Achse dargestelll wird
(d.h. senkrecht
zur
Kippachse);
Eine große Differenz des Kippwinkels zwischen den beiden Bildern benutzen
(mindestens
30
Grad);
Dafür sorgen, daß dasselbe Detail bei beiden Kippwinkeln leicht für die Mes-
sung gewählt werden kann;
Zwecks einfacherer Bedienung und höherer Genauigkeit wird
empfohlen,
beim euzenLrischen ArbeilSabstand zu arbeiten.
Um eine vollständige Messung auszuführen, ein Bild mit dem geeigneten Detail auf den
Schirm bringen und das Tastenfeld
StereohOhe
(Stereo
height)
anklicken. Nun den
richtigen Kippwinkel für die
erste
Messung und den SchrillSChaller betätigen. Nun die erste
Messung mit den Details des Bildes in der Anzeige ausführen
(diese
Messung ist eine
Punktmessung, die normalerweise annähernd parallel
zur
y-Achse
ausgeführt
wird). Den
SchrillSChalter betätigen. Die Kippung auf den neuen Wert
einstellen
und nachprüfen, ob
Philips
XL-Raslerelektronenmikroskop

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