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3.
INBETRIEBNAHME
DES
INSTRUMENTS
z.B. das der Strahlkippung im Bedienungsfeld
Strahl (Beam)
oder des
StigmalOrs
im Be-
dienungsfeld FOkus (Focus)
wiedergegeben.
Wenn das Feld angeklickt und die
linke
Maustaste
gedrückt gehalten
wird, erscheint
ein grünes
Fadenkreuz
auf dem Schirm mit
ei-
ner kleinen Hand in der
Mitte.
Wenn man nun die
Maus
verschiebt,
bewegt sich
das
Fa-
denkreuz zusammen mit der Hand und die entsprechende Einstellung veränden
sich.
ACHTUNG!
:
Während der Justierung darf die Strahlversch_ (Beam Shift) nicht
ver-
stellt
werden. Sie wird in jeder der Prozeduren
61 -
64 auf null
gestellt
und
eine zusätzliche
Korrektur kann den Nullzustand verändern.
Alle
Präparatbewegungen müssen mit dem
Präparauisch (mechanisch
oder mit
MOlorantrieb) ausgeWhn
werden.
Es
folgt
nun
eine
vollständige Beschreibung
des
JusLierverfahrens:
Montieren
Sie
ein
stabiles
Präparat mit regelmäßiger Struktur
im
Mikroskop.
Wenn
das
Vakuum OK isl, bringen Sie
das
System auf
20
kV und SLrahlgröße
5.
61 Strahlversch_ (Gun shift)
Klicken Sie das Bedienungsfeldmenü und dann Justierung (Adjustments) an
.
Öffnen Sie das Listenfeld durch Anklicken der rechten
Ecke.
Klicken Sie 61
Strahlversch_ (Gun shift)
an.
•
Das Tastenfeld
[+]
anklicken, dann die Anweisungen
"Bitle
wanen"
("Please
wait")
und
"Bild optimieren" ("Optimise
image") befolgen
. Sie
brauchen nur zu fokussieren und Kontrast und Helligkeit einzustellen. Die
automatische Kontrast-
und Helligkeitseinstellung kann benutzt werden,
Autofokus
ist jedoch nicht zu empfehlen
.
•
Klicken
Sie
nochmals
[+]
an
und führen
Sie
die Korrektur mit dem
Reg-
lerfeld
aus.
Wenn
alles
in
Ordnung ist, wieder
das Tastenfeld
[+J
an-
klicken. Haben
Sie
oachträglich Zweifel über
die
zuletzt ausgefühne Kor-
rektur,
SO
können
Sie
durch Anklicken des Tastenfeldes [.] zum
vorher-
gehenden
Schritt
zurückkehren und einen
weiteren Versuch
machen.
•
Weiter in der Prozedur 61
Strahlverseh,
(Gun shift), bis die
Tasten-
felder
Abbr. (Cancel) und Speichern (Save)
erscheinen.
•
Klicken Sie Speichern (Save)
an,
wenn Sie
der
Meinung
sind, daß
die
Justierung in
Oronung
ist. Klicken
Sie
Abbr. (Cancel)
an,
faJls
Sie
Zweifel
haben.
Auf
diese Weise
kehren Sie zu den
zu
Beginn
gültigen
Wenen
zurück.
Der
Abschniu 61 Strahlversch_ (Gun shift)
wird
auch
wieder
angezeigt, so
daß Sie
Gelegenheit
zu
einem
neuen Versuch
haben.
•
Die
Meldung
"Daten gespeichert" ("Please
wail, Saving
data")
erscheint,
wenn
das
Tastenfeld Speichern (Save) betätigt wurde. Wenn
die neuen
Wene abgespeichen sind, forden das System
dazu
auf, mit den anderen
Justierungen
(62
-
64) fonzufahren
.
62 Endlinse (Finallens)
•
•
Die
rechte
Ecke
des Listenfeldes
anklicken.
Alle
Justierungen
werden
un-
tereinander
angezeigt. Das
nächste
Justierverfahren,
in
diesem Fall 62
Endlinse (Final lens)
anklicken.
Danach
wieder
das
Tastenfeld
[+J
anklicken, um mit der
Justierung
zu
beginnen. Der
Ablauf der
Ereignisse
beginnt
erneut, wobei
der
einzige Unterschied
in der
Bewegung
besteht,
die
bereits
im Abschnitt Justierungen beschrieben wurde.
Nach
Optimierung des
Bildes wieder
das
Tastenfeld
[+]
anklicken.
Da-
durch
wird
die
Bildmodulation
(wechselweise
Rechts-
und
Linksdrehung)
eingeschaltet. Nur Elektronen,
die
sich auf der
optischen Achse der End-
linse
bewegen, werden
nicht gedrehL
Demzufolge gibt das Rotations-
zentrum
des Bildes
die
Position der
Endlinsenachse
an.
Phi!
ips
XL-Rasterelektronenmikroskop
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